SJ5100芯片線寬間距高精度測長機具有精度高、操作便攜、穩(wěn)定性強、功能齊全實用等優(yōu)點，能夠測量及檢定精密量具、精密量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)、花鍵規(guī)、表類、尺類。還可以檢測各種精密工件內(nèi)外尺寸，如齒輪、花鍵、校對棒、非標量規(guī)等，具有通用性強的特點。
SJ5100測長機采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。
儀器主要功能
1、標配功能：
檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；
光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；
螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）
螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；
光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm
千分尺校對桿：25~300mm；
塞尺：0.02~1mm
針規(guī)：φ0.1~φ10mm
三針：0.118~6.585mm；
兩點內(nèi)徑千分尺：25~300mm；
2、可選配功能：
小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；
螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；
光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；
光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；
螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；
螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；
鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；
花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標準齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；
外徑千分尺示值誤差手動校準：25~300mm；
數(shù)顯及游標卡尺示值誤差手動校準：75~300mm；
深度千分尺示值誤差手動校準：0~25、25~50、50~75mm；
三爪內(nèi)徑千分尺手動校準：φ6~φ200mm；
表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準）；
數(shù)顯半徑規(guī)手動校準：R5~R700mm；
軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；
SJ5100芯片線寬間距高精度測長機采用進口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行高精度全行程直接測量。高精度、高穩(wěn)定性：
1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.01μm，測量精度高；
2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；
3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實采集；
4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；
5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動結(jié)構(gòu)，移動摩擦驅(qū)動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。
智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)
1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡便；
2)十多年積累的實用軟件設(shè)計經(jīng)驗，向客戶提供簡潔、實用、便捷的操作體驗；
3)集成眾多長度標準、規(guī)程，功能強大、自動處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢測報告，自動顯示、打印、保存、查詢檢測記錄；
4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；
5)軟件配備快速找拐點指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點；
6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；
7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢測操作時間；
8)本儀器采用計算機大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動記錄保存所有檢測結(jié)果。
高性能內(nèi)尺寸測量裝置：
配置高性能環(huán)規(guī)內(nèi)測裝置，可測量小M3螺紋環(huán)規(guī)（根據(jù)選配測針），同時可完成小（φ0.8mm）光滑環(huán)規(guī)檢測（選配測針）；測量力為電子測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測力大小（可根據(jù)客戶需求定制更小測力）。
典型應(yīng)用案例
機械制造：在機械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。
光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。
航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。
主要技術(shù)指標
| 型號 | SJ5100-Prec300（精密測量型） | |
| 測量范圍 | 外尺寸 | 直接測量：0~340mm |
| 內(nèi)尺寸 | 比較測量：5~200mm（配置比較測量環(huán)規(guī)） | |
| 外尺寸示值誤差 | ≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L為被測長度，單位：mm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.1μm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.2μm（使用測鉤）≤0.3μm（使用內(nèi)測裝置） | |
| 測力 | 內(nèi)測裝置傳感器測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主測力1~10N手動連續(xù)可調(diào) | |
| 測量直徑 | 環(huán)規(guī)200mm（標配） 、塞規(guī)250mm（標配） | |
| 儀器尺寸 | 1400*400*450mm | |
| 儀器重量 | 150kg | |
五軸工作臺 | 型號 | ST-30.1(標配) |
| Z軸 | 0~50mm | |
| Y軸 | ±25mm | |
| X軸浮動 | ±10mm | |
| Z軸旋轉(zhuǎn) | ±3° | |
| Y軸擺動 | ±3° | |
| 負載 | 50kg | |
| 臺面尺寸 | 350*25mm |
環(huán)境條件
參考校準/使用環(huán)境溫濕度：
溫度：20±2℃，波動不超過0.5℃/小時
相對濕度：10~70%。
振動：按照三坐標振動要求標準，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；
校準室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場。
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
