說明
PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和冷陰極 (CC) 電離電流的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實時壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 6.4 章。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
這些變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，獲取壓力讀數，或進行壓力控制。
傳感器技術
變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速，并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉，從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機會。
分子離子化產生電流，該電流是壓力的函數。這兩個傳感器元件均極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
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應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:
· 一般真空壓力測量
· 氣體回填測量和控制
· 涂料
· 質譜儀控制
· 系統過程控制
· 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全措施
· 控制系統壓力
測量原理: | 依據 MEMS Pirani 傳感器的熱傳導性 | |||
冷陰極離子化電流 | ||||
測量范圍 (N2 和空氣): | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
精確度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴 (CC): | 誤差是讀數的 ±30% | ||
1×10-4 至 1x10-3 毫巴 (MP): | 誤差是讀數的 ±10% | |||
1×10-3 至 100 毫巴 (MP): | 誤差是讀數的 ±5% | |||
100 至 1000 毫巴 (MP): | 誤差是讀數的 ±25% | |||
重復性 (1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數的 ±2% | ||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||
功耗: | < 2 瓦 | |||
熔絲 (熱可恢復): | 200 毫安 | |||
模擬輸出 (100 歐阻抗): | 2-8.6 伏直流，Log. 0.6 伏直流/十進制 | |||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||
傳感器故障模擬輸出 (Pirani): | 10 伏直流 | |||
材料暴露于真空 (2): | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM | |||
機械設定點繼電器: | ||||
P/N: 230070V02、230071V02、230072V02、230085V02: | 0 | |||
P/N: 230088V02: | 3 | |||
設定點繼電器范圍: | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
設定點繼電器觸點額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負載) | |||
設定點繼電器觸點電阻: | 100 毫歐 (值) | |||
設定點繼電器響應時間: | <100 毫秒 | |||
設定點繼電器觸點耐久性: | 100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載) | |||
設定點繼電器觸點耐久性: | 2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載) | |||
軟件設定點繼電器: | ||||
P/N: 230089V02: | 2 | |||
設定點繼電器響應時間: | < 20 毫秒 | |||
內部容積: | KF25 | 28.6 厘米3 | ||
KF40 | 21.7 厘米3 | |||
CF46 | 32.7 厘米3 | |||
外殼材質: | 304 號不銹鋼 | |||
重量: | ||||
P/N: 230070V02、230088V02: | 321 克 | |||
P/N: 230089V02: | 600 克 | |||
P/N: 230085V02: | 550 克 | |||
P/N: 230071V02: | 358 克 | |||
P/N: 230072V02: | 576 克 | |||
允許壓力: | 6 巴 | |||
運行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||
烘烤溫度 (電源關閉): | 85 °C (185 °F) | |||
燈絲溫度: | 超過室溫 35 °C | |||
異物防護等級: | IP40 | |||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | |||
零件 |
產品號 |
PTR 90 N，DN25 KF | 230070V02 |
PTR 90 N，DN25 KF；Display | 230085V02 |
PTR 90 N，DN40 KF | 230071V02 |
PTR 90 N，DN40 CF | 230072V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，RS232，3SP | 230088V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，EtherCAT | 230089V02 |
陰極替換片 PTR 90 N / PTR225 N* | EK16291V02 |
陽極替換環 PTR 90 N / PTR 225 N** | V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
螺旋管 DN 40 ISO-KF | 230084 |
定心環 (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環 | 88374 |
定心環 (不銹鋼)，含燒結金屬過濾器 | 88352 |
卡環 (鋁) | 210043 |
隔板，含定心環 (FPM) | 230078 |
