半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應用于需要清潔的高真空或超高真空的應用中，例如，在研究、開發或工業領域，如半導體工業、分析儀器或涂層技術。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉子級配備有多個轉子葉片。位于旋轉轉子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉的轉子葉片到氣體分子的動量傳遞，它們最初的無方向熱運動轉變為從泵進口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運動。在分子流量范圍內（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應地，分子主要與光學稠密的轉子葉片碰撞，產生高效的泵送作用。在層流范圍內（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉子軸承
萊寶提供不同的轉子軸承系統。純經典機械式轉子軸承（TURBOVAC）或磁性轉子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側的軸承是一個終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側的軸承通過非磨損磁性軸承實現。所有這些類型軸承的典型特點是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會擴散回真空室。
驅動電子/控制單元
驅動和監測渦輪分子泵需要一個電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機提供驅動電壓和輸出頻率，并自動監控系統。泵轉子的啟動是通過穩定地增加電壓和頻率來實現的。達到額定速度后，啟動電流以受控方式降低至正常運行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機設計為即使在高進氣壓力下，轉速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內，氣體的吞吐量。
根據給定的系統和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進行補充，以方便在現有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進行壓縮，因此其操作始終需要一個額定值足夠的前真空泵。對于帶轉子葉片的經典轉子布置，通常采用兩級旋轉葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級旋轉葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉子配有附加壓縮級（復合級），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對空氣和氮氣分別規定標稱泵送速度，即泵的可達到泵送速度。在高真空工程領域，通常以測量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側的壓力與高真空側的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測量裝置24小時烘烤（脫氣）后48小時在試驗室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達到的極限p
半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應用于需要清潔的高真空或超高真空的應用中，例如，在研究、開發或工業領域，如半導體工業、分析儀器或涂層技術。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉子級配備有多個轉子葉片。位于旋轉轉子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉的轉子葉片到氣體分子的動量傳遞，它們最初的無方向熱運動轉變為從泵進口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運動。在分子流量范圍內（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應地，分子主要與光學稠密的轉子葉片碰撞，產生高效的泵送作用。在層流范圍內（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉子軸承
萊寶提供不同的轉子軸承系統。純經典機械式轉子軸承（TURBOVAC）或磁性轉子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側的軸承是一個終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側的軸承通過非磨損磁性軸承實現。所有這些類型軸承的典型特點是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會擴散回真空室。
驅動電子/控制單元
驅動和監測渦輪分子泵需要一個電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機提供驅動電壓和輸出頻率，并自動監控系統。泵轉子的啟動是通過穩定地增加電壓和頻率來實現的。達到額定速度后，啟動電流以受控方式降低至正常運行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機設計為即使在高進氣壓力下，轉速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內，氣體的吞吐量。
根據給定的系統和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進行補充，以方便在現有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進行壓縮，因此其操作始終需要一個額定值足夠的前真空泵。對于帶轉子葉片的經典轉子布置，通常采用兩級旋轉葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級旋轉葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉子配有附加壓縮級（復合級），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對空氣和氮氣分別規定標稱泵送速度，即泵的可達到泵送速度。在高真空工程領域，通常以測量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側的壓力與高真空側的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測量裝置24小時烘烤（脫氣）后48小時在試驗室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達到的極限p
半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應用于需要清潔的高真空或超高真空的應用中，例如，在研究、開發或工業領域，如半導體工業、分析儀器或涂層技術。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉子級配備有多個轉子葉片。位于旋轉轉子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉的轉子葉片到氣體分子的動量傳遞，它們最初的無方向熱運動轉變為從泵進口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運動。在分子流量范圍內（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應地，分子主要與光學稠密的轉子葉片碰撞，產生高效的泵送作用。在層流范圍內（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉子軸承
萊寶提供不同的轉子軸承系統。純經典機械式轉子軸承（TURBOVAC）或磁性轉子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側的軸承是一個終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側的軸承通過非磨損磁性軸承實現。所有這些類型軸承的典型特點是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會擴散回真空室。
驅動電子/控制單元
驅動和監測渦輪分子泵需要一個電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機提供驅動電壓和輸出頻率，并自動監控系統。泵轉子的啟動是通過穩定地增加電壓和頻率來實現的。達到額定速度后，啟動電流以受控方式降低至正常運行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機設計為即使在高進氣壓力下，轉速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內，氣體的吞吐量。
根據給定的系統和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進行補充，以方便在現有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進行壓縮，因此其操作始終需要一個額定值足夠的前真空泵。對于帶轉子葉片的經典轉子布置，通常采用兩級旋轉葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級旋轉葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉子配有附加壓縮級（復合級），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對空氣和氮氣分別規定標稱泵送速度，即泵的可達到泵送速度。在高真空工程領域，通常以測量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側的壓力與高真空側的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測量裝置24小時烘烤（脫氣）后48小時在試驗室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達到的極限p
