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  • AccuFiz D 動態相移型

AccuFiz D 動態相移型

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-02-12
  • 廠商性質其他
  • 所在地區北京市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量56
  • 人氣值757
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AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態干涉儀,采用短相干光源,相干長度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點,又保持了動態干涉儀的特性,抗振動,對氣流擾動不敏感,并可用于一些特殊的測量需求,特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等。
AccuFiz D 動態相移型 產品詳情
典型應用

1. 遠程空腔測量。  只要保證透射參考面(TF或TS)距樣品個反射面的光程小于2m, 即可進行測量;而無需擔心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應用,是大口徑凸球面或凸非球面的測量,例如JSWT次鏡的測量。

2. 平行平板的測量,可以直接測量厚度大于200µm的平行平板,不產生干擾條紋

3.均勻性的測量,可實現定位干涉,只需保證樣品平行度足夠好,就可以直接測量,對樣品面形精度沒有特殊要求。

4.平面元件應力雙折射的測量

5.平面元件的等厚差的測量

6.作為主機,進行動態大口徑干涉儀自研


常規屬性

采集模式:采用相位相關探測器瞬時相移式

出光口徑:100mm,150mm,或其它定制尺寸

工作波段:636nm,相干長度200µm

相機像素:2K x 2K pexels,12bit

腔長:0-500 mm或0-2 m

外形尺寸:干涉儀:51.4 x 23.8 x 20.3 cm

          光源:28.2 x 68.2 x 17.0 cm

干涉儀重量:13.6kg

系統性能

樣品反射率:1-99%(需衰減)

RMS重復性:0.0001waves (0.06nm)*

RMS精度:0.001waves(0.6nm)**


*采用10個數據RMS值的1σ方差作為結果;每個數據是16次測試的平均

**采用10個數據,每個數據是16次測試的平均;以這10個數據的平均值作為參考值;以每一個數據與參考值的差來計算RMS平均作為結果


配置選項

- 可選150mm 輸出口徑

- 可選4”TF 與RF平面標準鏡

- 可選4”TS (1/20 wv PVr) : F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1

- 可選6”TS (1/20 wv PVr): F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4

- 可選4”或6”樣品5維調整架


關鍵詞:標準
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