1. 遠程空腔測量。 只要保證透射參考面(TF或TS)距樣品個反射面的光程小于2m, 即可進行測量;而無需擔心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應用,是大口徑凸球面或凸非球面的測量,例如JSWT次鏡的測量。
2. 平行平板的測量,可以直接測量厚度大于200µm的平行平板,不產生干擾條紋
3.均勻性的測量,可實現定位干涉,只需保證樣品平行度足夠好,就可以直接測量,對樣品面形精度沒有特殊要求。
4.平面元件應力雙折射的測量
5.平面元件的等厚差的測量
6.作為主機,進行動態大口徑干涉儀自研
采集模式:采用相位相關探測器瞬時相移式
出光口徑:100mm,150mm,或其它定制尺寸
工作波段:636nm,相干長度200µm
相機像素:2K x 2K pexels,12bit
腔長:0-500 mm或0-2 m
外形尺寸:干涉儀:51.4 x 23.8 x 20.3 cm
光源:28.2 x 68.2 x 17.0 cm
干涉儀重量:13.6kg
樣品反射率:1-99%(需衰減)
RMS重復性:0.0001waves (0.06nm)*
RMS精度:0.001waves(0.6nm)**
*采用10個數據RMS值的1σ方差作為結果;每個數據是16次測試的平均
**采用10個數據,每個數據是16次測試的平均;以這10個數據的平均值作為參考值;以每一個數據與參考值的差來計算RMS平均作為結果
- 可選150mm 輸出口徑
- 可選4”TF 與RF平面標準鏡
- 可選4”TS (1/20 wv PVr) : F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1
- 可選6”TS (1/20 wv PVr): F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4
- 可選4”或6”樣品5維調整架