1. 遠(yuǎn)程空腔測量。 只要保證透射參考面（TF或TS）距樣品個反射面的光程小于2m, 即可進(jìn)行測量；而無需擔(dān)心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應(yīng)用，是大口徑凸球面或凸非球面的測量，例如JSWT次鏡的測量。
2. 平行平板的測量，可以直接測量厚度大于200µm的平行平板，不產(chǎn)生干擾條紋
3.均勻性的測量，可實(shí)現(xiàn)定位干涉，只需保證樣品平行度足夠好，就可以直接測量，對樣品面形精度沒有特殊要求。
4.平面元件應(yīng)力雙折射的測量
5.平面元件的等厚差的測量
6.作為主機(jī)，進(jìn)行動態(tài)大口徑干涉儀自研
采集模式：采用相位相關(guān)探測器瞬時相移式
出光口徑：100mm，150mm，或其它定制尺寸
工作波段：636nm，相干長度200µm
相機(jī)像素：2K x 2K pexels，12bit
腔長：0-500 mm或0-2 m
外形尺寸：干涉儀：51.4 x 23.8 x 20.3 cm
光源：28.2 x 68.2 x 17.0 cm
干涉儀重量：13.6kg
樣品反射率：1-99%（需衰減）
RMS重復(fù)性：0.0001waves (0.06nm)*
RMS精度：0.001waves（0.6nm）**
*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果
- 可選150mm 輸出口徑
- 可選4”TF 與RF平面標(biāo)準(zhǔn)鏡
- 可選4”TS (1/20 wv PVr) ： F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1
- 可選6”TS （1/20 wv PVr）： F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4
- 可選4”或6”樣品5維調(diào)整架
