LHCPS-4K型高性能閉循環制冷機探針臺特點 ：
無制冷劑操作 ，無需消耗液氦或液氮
降溫控溫無需人員值守
低溫選件豐富
樣品處于真空環境
可定制以適應8英寸晶圓樣品臺
LHCPS-4K為實現多功能和高性能設計，是性能、無需消耗制冷劑的低溫閉循環制冷機探針臺。 該系統為尋求便利低溫測量和無需消耗制冷劑提供了一個優良的解決方案。 通過使用一個閉循環GM制冷機，通過閉循環減壓降溫提供冷源，探針臺可以在無人協助的情況下將溫度降至溫，從而減少了研究人員不必要的時間浪費，把主要精力集中在樣品測量測試上。 LHCPS-4K上的各種選件和配置使研究人員能夠進行嚴格的、具有挑戰性的測試測量。 LHCPS-4K提供了藍海科儀的低溫性能，其配置可使樣品溫度低至4K。 多個溫度傳感器分布在探針臺上，確保溫度準確重復測量。 兩級制冷平臺制冷機允許樣品在冷卻期間保持在較高的溫度，降低冷凝的可能性，這是測量有機材料的關鍵要求。LHCPS-4K樣品臺設計可安裝測量2英寸晶圓，通過選擇大直徑樣品臺，可實現4英寸晶圓測量，同時可接受定制8英寸樣品臺。
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺，盡量減小對樣品的溫度梯度，與整個探針臺電器接通
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室
三同軸樣品托
在同軸樣品托的基礎上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護電壓層，減小漏電流
光學樣品托
在以上任何一種樣品托的中心增加一個直徑6毫米的通光孔
磁場樣品托
磁場樣品托提供了一種低成本便捷的磁場測試環境，樣品托安裝在樣品臺上，和探針臺整體供地。磁場樣品托一套包括四種磁場產生環和一個安裝托。
根據不同的磁場需求，選擇使用不同的磁場產生環。四個磁場產生環分別能產生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場。
樣品托配置
注：其它尺寸樣品托接受定制
類型 接口 尺寸 設備包括 接地樣品托 無
φ32mm(1.25in) 選件
接地樣品托 φ32mm(1.25in)
同軸樣品托 BNC φ51mm(2in)
三同軸樣品托 TRIAX φ51mm(2in)
磁場樣品托 無
φ17mm(0.68in)
選件-光學
接地樣品托-光學 φ32mm(1.25in)
同軸樣品托-光學 BNC φ51mm(2in)
三同軸樣品托-光學 TRIAX φ51mm(2in)
樣品托性能
電絕緣 溫差 溫度 接地樣品托 導通 0.1K-0.2K 500K 同軸樣品托 ＞100MΩ ≈1K 400K 三同軸樣品托 ＞100GΩ ≈1K-2K 400K 1.電絕緣測試是在100V電壓情況下，測量導電面之間的電阻
2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會對溫差產生影響，熱接觸不充分樣品負載大，會增加溫差。
接口BNC 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜 TRIAX 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線
探針臂配置
標準的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實現直流、射頻、微博以及光學測量
靈活容易擴展的探針集合
微操作針臂可以在全溫區、真空環境、磁場環境下使用
可以配置在藍海科儀任意款探針臺上
磁場探針臺中更換成無磁材料針臂
每個針臂上安裝一個標準溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型
探針配置及用途
通用DC 小信號低噪聲DC測量高阻DC 高阻抗低漏電流測量 RF-1GHz KHz和MHz級別的測量，測量帶寬高達1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量，需要購買一個GSG探針 RF/微波-40GHz 可實現高達40GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量 RF/微波-67GHz
可實現高達67GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量 光纖探針 給樣品通光或者從樣品采集光
探針硬件配置
接口 探針 內部線 水平角度 定制 通用DC
2耳BNC SMA低溫探針 微型低溫同軸線，屏蔽層接地 無 探針針尖和直徑 高阻DC 3耳triaxial SMA低溫探針
微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD 無 探針針尖和直徑
RF-1GHz
2.92mm(K型連接器) SMA低溫探針
2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 無 探針針尖和直徑
RF/微波-40GHz
2.92mm(K型連接器)
40G-GSG探針 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地
±5° GSG針尖距離 RF/微波-67GHz
1.85mm(Z型連接器)
67G-GSG探針 1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地
±5°
GSG針尖距離
光纖探針
FC/APC或SMA905 無 光纖 ±5°
類型、波長、入射角
探針性能
注：絕緣電阻在100V電壓下測量得到
使用頻率 絕緣電阻 電容 阻抗 反射 傳輸 通用DC
DC-50Hz ＞100MΩ ＜100pF 50Ω 無 無 高阻DC
DC-50Hz
＞100GΩ
＜100pF
無 無 無 RF-1GHz
DC-1GHz
＞10MΩ
未測量 50Ω
＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-40GHz
DC-40GHz
＞1MΩ
未測量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-67GHz
DC-67GHz
＞1MΩ
未測量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
光纖探針
無 無 無 無 無
探針定位
X軸 Y周 Z軸 行程 51mm(2 in) 25mm(1 in) 25mm(1 in) 精度 20μm 10μm 10μm
SMA低溫專用探針藍海科儀為低溫探針臺設計專用探針，探針具有強大的通用性，能實現直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針。具有無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺。
型號 材料 針尖直徑（μm） SMA-05D-01-W 鎢
1 SMA-05D-05-W
5 SMA-05D-10-W
10 SMA-05D-20-W
20 SMA-05D-100-W
100 SMA-05D-01-BC
鈹銅
1 SMA-05D-05-BC
5 SMA-05D-10-BC
10 SMA-05D-20-BC
20 SMA-05D-100-BC
100 SMA-05D-01-P7
paliney 7合金
1 SMA-05D-05-P7
5 SMA-05D-10-P7
10 SMA-05D-20-P7
20 SMA-05D-100-P7
100
針尖材料 描述 應用 導電性 接觸電阻 壽命 鎢（W） 常用，耐用 適用各種樣品表面，能穿透氧化層 好 低 最長 鈹銅（BC） 常用，接觸電阻小 沉金焊盤pad 更好 更低 長 paliney 7合金(P7)
專用，接觸電阻小 更加精密的焊盤pad 長
LHCPS-4K技術參數
樣品冷卻集合
類型： 二級制冷平臺（樣品臺和防輻射屏）
防輻射屏：環繞在樣品臺周圍，安裝在制冷機一級制冷平臺上
冷源：二級制冷閉循環制冷機，1.2W@4.2K
磁場：磁場套裝，垂直樣品磁場
溫度
溫度 控溫范圍 配置 4K 4.5K-350K 2套探針臂 5K 5.5K-350K
4套探針臂 5.5K 6K-350K
6套探針臂 20K 20K-675K
高溫選件
控溫穩定性樣品臺溫度
穩定性 溫度，不控制 未測量 ＜10K ±100mK 10K-100K ±50mK 101K-250K ±50mK
251K-350K ±70mK
351K-675K ±100mK
抽空時間抽空時間
30 min＜1x10-1Pa 室溫 ＜5x10-3Pa
溫度 ＜1x10-4Pa
溫度 ＜1x10-4Pa
循環時間一次循環時間 4h
抽空時間： 0.5h
降溫時間: 2.0h
升溫時間: 1.5h
樣品臺振動： ＜1μm 可定制＜100nm
樣品
樣品： φ51mm （2 in）
樣品背光： 無
樣品旋轉： 無 注：可定制旋轉，溫度受影響
探針配置
最多數量： 6
探針傳感器： 包括
探針安裝托溫度： ＜20K 樣品臺在溫度
探針裝配： 螺絲固定 熱沉到樣品臺
探針臂： 熱沉到防輻射屏
SMA低溫探針： 電絕緣＞100GΩ 適合低漏電流測量
微波探針： 選配 高達67GHz射頻測量
光纖探針： 選配 光電測量
制冷劑消耗
室溫到溫 不需要
氦@5K 不需要
溫控配置
樣品臺傳感器加熱器： 硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
防輻射屏傳感器加熱器： 硅二極管溫度傳感器 單頭50W加熱器
制冷機二級冷頭傳感器加熱器： 無 可以選裝硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
制冷機一級冷頭傳感器加熱器： 無 可以選裝硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
探針臂： 安裝 硅二極管溫度傳感器（在其中一個探針臂）
溫度控制器： cryocon26C
樣品托： 可拆卸51mm三同軸樣品托
占地面積： 長寬高700*700*900mm 不包括壓縮機和水冷機
真空腔體
材料： 鋁合金本色氧化 可選不銹鋼
總尺寸： 外徑220毫米 高150毫米
內部尺寸： 直徑190毫米
觀察窗： 直徑80毫米 材料熔融石英
可視范圍： 直徑65毫米
泵抽口： KF25 配旋塞閥
真空計接口： KF25 可選KF16
進氣口： 標配直徑6.35管配閥門，可選其它接口
泄壓閥： 3.5KPa(0.5psi)
防輻射屏
材料： 無氧銅鍍金 可選鋁電鍍鎳
空間直徑： 150毫米
可視口： 50毫米 紅外吸收窗口
水電要求：
單項電： 220VAC 50Hz
單項總功率： 2KVA
三相電： 380VAC 50Hz
三相電總功率： ＞8KW
冷卻水要求： ＞8KW
水冷機要求： 制冷功率＞8KW，出水壓力2-4KG/c㎡ 水冷機可以選配，本探針臺不包括水冷機，水冷機需要三項電功率＞5KW
