項目 | 內容 |
---|---|
適用電池類型 | 230mm及以下尺寸,厚度100-220μm |
載物臺控制 | 精密電缸精確控制,行程250mm x 250mm,帶真空吸附,顯微鏡鏡頭輔助對準 |
測試范圍 | 接觸電阻率:0.1~120mΩ*cm*2; 線電阻測量范圍:0.2~40Ω/cm; |
可測樣品寬度 | 5-10mm |
恒流源 | 1mA-10mA |
電阻分辨率 | 1uΩ |
測量電流 | 10mA(開放可更換) |
測試重復性 | 靜態測量≤1.5%,動態測量≤4%(動態:5次測試) |
測量壓放控制 | 采用精密電動位移軸,程序智能控制探針下壓量,控制精度高達5um |
測量方式 | 自動X、Y、Z方向 |
測量的點數 | 4-8 |
探針基本指標; | 材質:鍍金探針; 探針直徑:0.9mm; 探針壓力:0.4~0.7N可調; 探針壽命:>100000次; 針間絕緣電阻:≥1000M?; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; |
探針間距 | 標配:1.1.0-1.2mm可調式探頭 2.0.9mm固定式探頭; 3.選配:其他規格可按需求定制 |
軟件功能 | 1.測試數據分析存儲功能 2.測量數據可導出Excell格式 3.測試數據可生成直方圖 |