光強均勻、頻譜穩定
美能Poly5000在線膜厚測試儀采用鎢鹵素燈,有效光譜范圍320nm~2400nm,發射出連續光譜,涵蓋了從紫外線到紅外線的所有光波段。一臺機器覆蓋多臺機器的測量范圍,保證測試結果的準確性。
毫秒級別采樣速度
美能Poly5000光譜儀專門針對光伏應用客戶設計并開發,光譜范圍300~1100nm,光斑70μm,適用光伏行業的測試環境及條件。配合美能的光譜擬合法,最終擬合獲得薄膜厚度和光學常數,實現超廣測量范圍20nm~2000nm和0.5nm的超高重復性精度。
全新智能地操作體驗
美能Smart Poly操作軟件,快速、智能且易于使用。使用直觀且用戶友好的獨立PC程序無需用戶自己編寫任何代碼即可快速表征材料。操作軟件確保準確的結果,以便對材料進行廣泛的電氣表征。
Poly膜厚在線監控
?99%Poly-si沉積工藝監控,提高產品良率
?非接觸、無損測量,零碎片率,保證生產效率
?提高產線自動化生產水平,機器自動測試代替人工離線測試,節約人力成本
?測試速度快,單片測試時間<0.5s
?膜厚重復性測量精度:<0.5nm(100次連續測試)