產品應用
• 設備用于可見光BAR條自動測試,可以實現常溫、高溫條件下邊發射芯片的光譜、LIV參數測試
產品特點
• 支持多種主流規格料盒,全自動上下料,避免轉料或人工操作對巴條chip造成的報廢
• 上下料料盒配磁吸式夾具,支持快速更換不同規格料盒或藍膜盤
• 支持BAR條自動上料、首顆chip識別定位,支持ID識別、自動測試、自動判斷BAR條測試結束、自動下料
• 吸嘴、探針與BAR條接觸壓力可調
• 支持單探針、雙探針、多探針加電的形態
• 高溫、常溫測試臺,溫度采用閉環控制
• 支持前光LIV曲線、功率、光譜測量,背光功率測量,多參數多條件篩分,盡可能篩選出不良chip,避免流入后道工序
• 支持MAP圖繪制,方便用戶對wafer的性能分布情況分析
• 支持NG Chip打點標記,支持簡單的芯片外觀檢查
• 支持常溫、高溫測試,常溫臺支持溫控
• 多維度可調測量結構,滿足用戶對不同規格巴條測量需求
參 數 | 指 標 |
適用巴條尺寸 | 長度:15~30mm 寬度:0.2~0.5mm,其他BAR條寬度可定制測試臺 |
儀表型號 | 吉時利(Keithley)2601B-PULSE |
測量參數 | LIV曲線,Ith,Po,Vf,Im,Rs,SE,Kink等 |
LD驅動電流 | 小功率芯片范圍0 ~ 300mA,精度0.1%FS±0.5mA 大功率芯片范圍0 ~ 5A,精度0.1%FS±5mA |
電流模式 | CW/Pulse |
P-I-V | Pulse 0.1ms (ON) Duty1% |
正向電壓測試 | 小功率芯片范圍0 ~ 15.0V,精度0.1% FS±50mV 大功率芯片范圍0 ~ 10.0V,精度0.1% FS±50mV |
光功率測試 | 小功率芯片測試范圍0-300mW;精度0.1% FS±50uW;波長范圍380-700nm 大功率芯片測試范圍0-10W;精度0.1% FS±10mW;波長范圍380-700nm |
溫度控制 | 常溫:20~85℃;穩定性≤ ±0.5℃ |
氣源要求 | 正壓:>0.6MPa 負壓:<-80KPa |
電源 | AC 220V/8A 50Hz |