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  • 等離子清洗機(jī)G系列

等離子清洗機(jī)G系列

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地青島市
  • 更新時(shí)間2025-02-04
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量105
  • 人氣值817
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山東普爾晟儀器有限公司是一家設(shè)在美麗的海濱城市青島的科技公司,是一家集研發(fā)、銷(xiāo)售及服務(wù)為一體的企業(yè)。公司成立以來(lái)得到國(guó)家重點(diǎn)院校及國(guó)內(nèi)外儀器領(lǐng)域?qū)<壹夹g(shù)支持。產(chǎn)品以實(shí)驗(yàn)室儀器及實(shí)驗(yàn)室常用輔助儀器為主,服務(wù)科研、教育、環(huán)境保護(hù)、衛(wèi)生防疫、食品藥品、材料、制藥等領(lǐng)域。同時(shí),普爾晟儀器還與國(guó)內(nèi)外色譜、光譜、質(zhì)譜、前處理等廠商展開(kāi)合作,可以更高效的為實(shí)驗(yàn)室客戶(hù)提供一體化解決方案,讓實(shí)驗(yàn)室籌備和擴(kuò)項(xiàng)工作更為輕松、高效。普爾晟儀器一直以“科技便利生活 創(chuàng)新開(kāi)啟未來(lái)”的理念,致力于解決客戶(hù)實(shí)驗(yàn)室想更便捷更高效的工作效率問(wèn)題。目前公司方向是,為實(shí)驗(yàn)室客戶(hù)提供一體化解決方案,讓實(shí)驗(yàn)室籌備和擴(kuò)項(xiàng)工作更為輕松、高效。主要業(yè)務(wù)是三個(gè)方面:實(shí)驗(yàn)室前期規(guī)劃布局(包括實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)室氣路管路實(shí)驗(yàn)臺(tái)等布局)實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及耗材(包括實(shí)驗(yàn)室前處理儀器、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室常規(guī)耗材等)實(shí)驗(yàn)室售后服務(wù)(包括實(shí)驗(yàn)室設(shè)備安裝維修維護(hù)、實(shí)驗(yàn)室方法及人員培訓(xùn)等)一直秉承誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)的原則,致力于打造質(zhì)量過(guò)硬的產(chǎn)品、體貼入微的服務(wù)體系,秉持與客戶(hù)共贏、為客戶(hù)創(chuàng)造價(jià)值的理念,在與客戶(hù)共同發(fā)展的道路上堅(jiān)持不懈。
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等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線(xiàn)路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的
等離子清洗機(jī)G系列 產(chǎn)品詳情

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線(xiàn)路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。  




產(chǎn)品特點(diǎn):

u 7寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

u 石英真空真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

u 采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問(wèn)題。

u HEPA高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 60度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

u 頂置真空艙,上開(kāi)蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式,開(kāi)關(guān)蓋方便。

u 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤(pán)設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

u 有效清洗面積大,可清洗直徑8吋硅片。

u 安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

G系列產(chǎn)品專(zhuān)為處理更大樣品尺寸而設(shè)計(jì),滿(mǎn)足大部分實(shí)驗(yàn)室和中試生產(chǎn)模擬生產(chǎn)條件要求

  技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

10系列

10plus

C10M

Mplus

G系列

Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

10-600W

10-300W

10-600W

10-300W

10-600W

10-150W

匹配器

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計(jì)

單路MFC(可選兩路)

單路MFC(可選兩路)

艙體尺寸

L300Xφ215mm

L300Xφ215mm

H100xΦ269mm

艙體容積

10.8L

10.8L

5.6L

艙體材質(zhì)

不銹鋼

不銹鋼

石英玻璃

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

Φ269mm 圓盤(pán)

時(shí)間設(shè)定

9999秒

9999秒

9999秒

真空泵

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速4m3/h

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1分鐘

1分鐘

1分鐘

真空度

100pa以?xún)?nèi)

100pa以?xún)?nèi)

100pa以?xún)?nèi)

 

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

AC220V 50/60Hz  752/302W

產(chǎn)品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

L550xW630xH700mm

整機(jī)重量

55kg

55kg

30kg


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