紫外臭氧清洗機(jī)（UVOZONE CLEANER, UVO）,是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì)，快速髙效的材料表面 清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英,硅片,金,鐐,鋁,碑化氤氧化鋁等）表面 上的有機(jī)污染物。

    采用長(zhǎng)壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺(tái)高度可調(diào)并可選配加熱控溫 功能,以達(dá)到清洗效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)

UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。

自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。

數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。

可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過程。

自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。

頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡(jiǎn)單方便。

上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。

樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)。

高強(qiáng)度UV燈源，波長(zhǎng)185nm和254nm。

UV反射罩（長(zhǎng)x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

雙重安全保護(hù)，當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。

帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。

可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。

可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。