產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
EDIS全自動(dòng)測(cè)量工具顯微鏡是通元識(shí)微光電為專業(yè)客戶而設(shè)計(jì)的一款超高測(cè)量精度的產(chǎn)品。采用了國(guó)/內(nèi)外的顯微鏡影像系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及精密的線性導(dǎo)軌及光柵尺，它可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸全自動(dòng)測(cè)量，并支持表面光源、輪廓光源及搖桿、電動(dòng)鼻輪等各種附件。配備的VMA測(cè)量軟件，具有幾何測(cè)量、拍照、CNC編程、報(bào)表輸出等各種核心功能。它廣泛的應(yīng)用于電子元件,精密模具,精密刀具,彈簧,塑膠,橡膠,油封止閥,照相機(jī)零件.汽車零件.PCB加工等領(lǐng)域，特別適用于大型半導(dǎo)體晶圓、液晶面板、太陽(yáng)能基板、大型PCB等行業(yè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品的拍照、觀察、測(cè)量等品控要求。
儀器特點(diǎn)：
◆ XYZ三軸CNC控制，全自動(dòng)測(cè)量；
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)；
◆ 可程控表面光源，LED輪廓光源；
◆ 自動(dòng)對(duì)焦，支持電動(dòng)鼻輪；
◆ VMA全自動(dòng)影像測(cè)量軟件；
◆ VMZ全功能影像測(cè)量軟件；
◆ 多種測(cè)量行程規(guī)格配置。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | EDIS120100P | EDIS150120P | EDIS150150P | EDIS170170P | |
| 行程(L×B×H,mm) | 1200×1000*200 | 1500×1200×200 | 1500×1500×200 | 1700×1700×200 | |
| 結(jié)構(gòu) | 花崗巖龍門(mén)式 | ||||
| 外部尺寸(L×B×Hmm) | 2000*2000×1900 | 2300×2200×1900 | 2300×2500×1900 | 2500×2700×1900 | |
| 整機(jī)重量(kg) | 3000 | 3800 | 4500 | 5500 | |
| 承重(kg) | 40 | ||||
| 測(cè)量精度 | XY軸 | E2=(5+L/150)µm | |||
| Z軸* | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 15mmin | |||
| Z軸 | 5mmin | ||||
| 光柵尺 | 標(biāo)配：Taiwan Rational 0.001mm分辨率 選配：英國(guó)Renishaw 0.001分辨率 | ||||
| 傳動(dòng)方式 | Taiwan TBI XYZ軸精密級(jí)滾珠絲杠 | ||||
| 導(dǎo)軌 | Taiwan Hiwin精密級(jí)導(dǎo)軌 | ||||
| CCD | SONY 1/3” CCD | ||||
| 光源 | 輪廓光 | China EDIS LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào) | |||
| 表面光 | 顯微鏡同軸光源，256級(jí)亮度可調(diào) | ||||
| 光學(xué)系統(tǒng) | 標(biāo)配：China ICM-100 多鏡頭金相顯微鏡（1X/5X/10X/20X） | ||||
| 軟件 | 標(biāo)配：EDIS VMA3.00 | ||||
| 運(yùn)動(dòng)控制 | Japan Panasonic J系交流CNC 系統(tǒng) + ADS運(yùn)控卡+霍爾3維工業(yè)搖桿 | ||||
| 儀器桌 | EDIS | ||||
| 計(jì)算機(jī) | 研祥(China EVOC)IPC610（研祥 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃，濕度30～80% | ||||
| 振動(dòng)<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
