PR-23-MS折光儀適用于半導體液態化學品測量。該折光儀利用光學原理測量溶液的折射率來確定固溶物濃度，因此，可用于測量多種溶液。緊湊型設計方便集成到濕法工作臺或機柜里，而無需占用過多空間。內置的流通池由超純的改性 PTFE 制成，旨在防止金屬和易腐蝕部件與工藝液體接觸。所有接液部件均由超純的改性 PTFE 制成。棱鏡材料是藍寶石。PR-23-MS 可提供連續的 4-20 mA 或數字測量信號，并在化學品的濃度不符合規格要求時向控制系統實時反饋。PR-23-MS 外形小巧，易于安裝，適用于散裝化學品配送、使用點化學品調配、補液監測應用。
應用：
- ? 防止錯誤的化學品進入制造流程。
- ? 優化蝕刻工藝并延長蝕刻液（例如加熱的 KOH）的使用時間。
- ? 通常可使晶圓的產量提高 5%，并減少 FEOL 和 BEOL 清洗工藝中清洗化學品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。
- ? 對 CMP 漿料進行嚴格控制，并提高拋光的均勻性。
關鍵特性：
- ? 標稱準確度為 0.1%（質量百分比），例如，鹽酸溶液。對于由多種成分構成的溶液，測量信號則作為各成分的校驗和。
- ? 光學核心構造光學器件。
- ? 雙連接：一個變送器可以運行兩個傳感器。第二個傳感器可在之后輕松添加。
- ? 過程溫度范圍：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
- ? 內置 Pt1000，快速溫度測量及自動溫度補償功。
- ? ATEX 防爆認證，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。
- ? FM 防爆認證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.
- ? CSA 防爆認證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.
- ? cCSAus 電氣安全認證，傳感器：I 類，污染等級為3 級；變送器：I 類，污染等級為2 級；安裝類別為II。
主要優點：
全數字化設備：維薩拉 K?PATENTS® 半導體行業用折光儀 PR-33-S 用于監控工藝流程，可提供連續的以太網輸出信號。設計緊湊，直接串接在過程管路上。
滿量程下保持準確穩定測量：折射率測量范圍為 nD 1.3200–1.5300，相當于 0-99%（重量百分比）。對于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標稱準確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當于 0.1%（重量百分比），例如：鹽酸、測量顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級別的微量雜質影響。
易于維護：光學核心設計；無漂移；無需重新校準；無需進行機械調節。
