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  • 通用磁控濺射鍍膜機

通用磁控濺射鍍膜機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-01-10
  • 廠商性質其他
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量72
  • 人氣值831
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磁控濺射鍍膜機是應用泛的PVD沉積設備,可用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜,亦可鍍鐵磁材料。該設備主要用于實驗室制備光學膜層,電學,光電膜層及其它功能膜層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。該設備廣泛應用于大專院校及相關科研機構。
通用磁控濺射鍍膜機 產品詳情

  一、應用領域

  磁控濺射鍍膜機是應用泛的PVD沉積設備,可用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜,亦可鍍鐵磁材料。該設備主要用于實驗室制備光學膜層,電學,光電膜層及其它功能膜層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。該設備廣泛應用于大專院校及相關科研機構。

  二、性能參數:

  1. 極限真空壓力:5×10-5Pa;

  2. 磁控靶:直徑Φ50-Φ150;數量:2-4只;

  3. 靶單位面積功率:(W/cm2)5~20;

  4. 靶電源功率(W):DC500-5000W,RF500-1000W;

  5. 基片加熱溫度:0~500℃可控;

  6. 恢復真空抽氣時間(分):從大氣至5×10-4Pa<30min;

  7. 工藝氣體:MFC 1-4路;

  8. 樣品架:公轉或公自轉;

  9. 其它配置:偏壓、膜厚儀、薄膜規、磁控靶電(氣)動擋板可選;

關鍵詞:鍍膜機
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