半導體晶圓制造
半導體晶圓制造需要高精度、快速顯微成像及處理解決方案,在確保終端產品的高精度和清潔度的同時,實現地組裝、檢驗、測量、分析并記錄。除了光學分辨率很高之外,利用徠卡顯微系統的人體工程學立體顯微鏡和復合顯微鏡的生產線,還可以提高生產效率,緩解重復性工作帶來的肌肉和視覺疲勞
了解更多關于高分辨率、符合人體工學、高性價比的晶圓處理及檢驗的顯微鏡解決方案。
· 研發
使用徠卡顯微系統半導體晶圓研發顯微解決方案,觀察和分析細節的同時提高生產效率。徠卡顯微系統提供自動化的操作和一系列對比方法,易于在宏觀/微觀兩種模式切換,同時提供性價比高的系外線照明,為您提供多種多樣的前端檢測和檢查工作的成像解決方案,
復合解決方案
徠卡顯微系統半導體晶圓研發復合顯微鏡為您在檢測、過程控制和缺陷分析中帶來快速準確的結果。徠卡DM8000M 和DM12000 M 解決方案提供的照明和光學技術,提升產量。解決方案包括投射光照明, Leica DFC450數碼攝像頭, 以及Leica 應用組合 (LAS) 顯微鏡成像軟件,包括 專為表面成像和測量的Montage,Multistep, Image Analysis, Interactive Measurement, 和 Leica MAP
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共聚焦/干涉解決方案
徠卡DCM8提供高速3D成像技術,配備有適合進一步研究的完整分析數據獲取系統。這款雙核解決方案結合了共聚焦顯微鏡和干涉技術,為您帶來橫向達到2nm,縱向達到0.1nm的分辨率。感謝我們的直觀軟件,能快速、簡單的獲取和分析所有表面數據。解決方案包括:適合標準和共聚焦顯微鏡的傳感頭,VSI, PSI 以及ePSI干涉,手動轉換鏡盤,開放Z掃描回路,電腦控制器,和27”顯示器,HD CCD攝像頭,LED照明(紅光、綠光、藍光、白光),徠卡掃描軟件。