| 測量原理
激光干涉法適用范圍 可用于測量工件尺寸為 Φ2---Φ8（INCH）直徑的圓型晶片
測量精度及量程
1、關(guān)于厚度
厚度量程：100---2000um，測量精度與 WAFER 表面光潔度有關(guān)，即： 測量重復精度（砷化鎵等二代半導體類雙拋表面 WAFER）：±0.3um ; 測量重復精度（碳化硅等三代半導體類研磨表面 WAFER）: ±0.5um ; 測量重復精度（藍寶石類單拋表面 WAFER）：±0.5um ; 2、關(guān)于平面度/表面形態(tài)參數(shù)測量精度 |
測量精度：±0.06μm 重復性精度：±0.03μm 分辨率：±0.005μm
像素點數(shù)：≥250000 3、分選速度
為了保證不造成對 WAFER 表面造成損傷，研究人員建議的安全分選速度為： 100 片/小時左右。| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 多功能校驗儀 | ￥1950 | 南平市 | 福建順昌虹潤精密儀器有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| JL-ZJF-1 熱電偶校驗仿真儀 | 面議 | 淮安市 | 江蘇金嶺儀表有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 特級環(huán)路校驗儀 | 面議 | 淮安市 | 江蘇蘇川儀表有限公司 | 2025-03-09 | 在線詢價 |
| 掌上型多功能校驗儀 | ￥9700 | 淮安市 | 江蘇潤儀儀表有限公司 | 2024-06-13 | 在線詢價 |
| 1000VA繼電保護校驗儀 | 面議 | 揚州市 | 江蘇久益電力設備有限公司 | 2025-02-16 | 在線詢價 |
| VB-Z8800靜態(tài)位移校驗監(jiān)控儀 | ￥200 | 鄭州市 | 鄭州航科儀器儀表有限公司 | 2023-10-17 | 在線詢價 |
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