CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
回吸閥AMS，氣動閥/回吸閥一體型AMDS，先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP，手動調(diào)節(jié)器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動流量調(diào)節(jié)閥MNV，手動流量調(diào)節(jié)閥FMD00，LYX
CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
回吸閥AMS，氣動閥/回吸閥一體型AMDS，先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP，手動調(diào)節(jié)器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動流量調(diào)節(jié)閥MNV，手動流量調(diào)節(jié)閥FMD00，LYX
產(chǎn)品介紹
回吸閥AMS
結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學(xué)排放不良等問題。
可根據(jù)流體粘度進(jìn)行優(yōu)化的定制設(shè)計。
產(chǎn)品特點
[防止液體滴落]
與慢速型速度控制器組合可調(diào)節(jié)至最佳液體排放。
【工作原理】
當(dāng)流體流動時，空氣壓力作用于操作口，使隔膜下降。
當(dāng)流體停止時，來自操作口的空氣被釋放到大氣中，彈簧的力使隔膜上升，增加吸入閥內(nèi)的容積并防止流體滴落。
氣動閥/回吸閥一體型AMDS
結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學(xué)排放不良等問題。
可根據(jù)流體粘度進(jìn)行優(yōu)化的定制設(shè)計。
集成氣動閥減少了管道工作并使其更加緊湊。
先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP
這是一種通過先導(dǎo)空氣控制來穩(wěn)定化學(xué)溶液/純水供給部分的壓力波動的調(diào)節(jié)器。與電動氣動調(diào)節(jié)器結(jié)合，還可以通過遠(yuǎn)程控制改變設(shè)定壓力。
手動調(diào)節(jié)器PYM·PMM
用于純水等壓力控制的手動調(diào)節(jié)器。
產(chǎn)品特點
[壓力控制]
手動式，強(qiáng)調(diào)易用性。
液位傳感器KML
高精度檢測純水、酸、堿、溶劑等各種流體的液位，并以電信號輸出。
產(chǎn)品特點
[可遠(yuǎn)程控制]（KML703系列）
傳感器部分和顯示部分是分離的，因此操作顯示部分可以安裝在遠(yuǎn)離液罐的位置。
內(nèi)置通訊功能（RS485）允許從主機(jī)進(jìn)行操作。
【耐環(huán)境壓力波動】（KML703系列）
壓差法檢測環(huán)境壓力和水位之間的壓差，因此通過將檢測管和環(huán)境檢測管設(shè)置在相同的壓力環(huán)境中，可以進(jìn)行以下檢測：能夠抵抗環(huán)境壓力波動。
[提高耐用性]（KML502、MKML2、MXKML2）
通過改變隔膜材料，提高了耐用性。
[提高便利性] (MKML2、MXKML2)
通過采用塊結(jié)構(gòu)可以改變站數(shù)。
電動流量調(diào)節(jié)閥MNV
這是電動流量調(diào)節(jié)閥（針閥）。可通過遠(yuǎn)程控制改變設(shè)定流量。
手動流量調(diào)節(jié)閥FMD00
這是手動流量調(diào)節(jié)閥（針閥）。
LYX
可以調(diào)節(jié)微小流量的手動流量調(diào)節(jié)閥。
