數字式工具顯微鏡
溫度要求
⑴ 工作室的溫度應為20 ± 2 ℃
⑵ 工作室的溫度變化每小時≤0.5 ℃
⑶ 被測件和儀器的溫度差≤0.5 ℃
在滿足所規定溫度要求的條件下，儀器有如下保證：
① X 、Y 坐標 用玻璃毫米分劃尺進行檢定時，儀器的不準確度：
（1 + L / 100）μm 式中L = 測量長度 單位：㎜
儀器的分劃尺按修正表進行修正時：X向不大于0.0035㎜ Y向不大于0.0025
② 測角目鏡 測量角度的不準確度： 不大于1′
③ 雙像目鏡 合像的不穩定性：不大于0.0005㎜ 合像的不正確度：不大于 0.001㎜
④ 光學分度頭 不準確度：不大于30″
⑤ 光學定位器 測量的不穩定性：不大于0.001㎜ 測量的不準確度：不大于0.0015㎜
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