產品描述

電容薄膜規是?種膜?受到壓?后產?形變的引起電容變化并將其轉化為電信號的傳感器，信號的強弱由其檢測的壓???決定。

產品特點

? 測量全程數字化，量程在范圍內任意遷移

? 數字通訊，避免?次儀表誤差，簡化控制設備

? 強?的抗過載能?

? 快速的響應時間

? 實測性能超越對外發布規格

? ?精度，?穩定性

? 超寬補償溫度范圍：-20~＋80 ℃

? 模擬信號任意遷移

? 量程范圍: 10%-99%

? 替代傳統模擬信號電容薄膜規

? 快速開機預熱時間5s

? 壓?誤差：2.0‰，電壓誤差：1‰

產品應?

? ?要求的應?條件下，?快速的壓強測量

? ?于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導體制造設備

? 半導體，光學，航空航天和化學制造

? 冷凍，?燥制造設備

? ?精度，?重復性真空測量

? ?業真空設備

性能和參數

供電 :24VDC（紋波?于10%）

?作電流 :20mA

輸出阻抗 :0（短路保護）

響應時間:<100 ms

調零?式 :?板按鍵或軟件寫?

過載壓? :>5atm

輸出 :,0～10VDC， 4-20mA，，RS485等

重量 :約285克

繼電器輸出: 2xRelay

繼電器負載:2A 30VDC 0.5A 125VAC

電?連接 :D-Sub 9

溫度補償范圍: -20-80℃

精度 ±0.2%RDG:（±零點漂移，±分辨率）

使?溫度范圍;-40-125℃

溫度影響: 0.005% F.S./℃

儲存溫度范圍: -40-125℃

分辨率；0.01%F.S.

防護 ：IP40

介質接觸材質： Al2O3 和316L不銹鋼

外殼 ：316L不銹鋼

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