產品特點
PRODUCT FEATURES
為滿足半導體封裝測試行業對無塵烘烤的需求,深圳怡和興根據行業的使用習慣、材料特性、工藝流程等特點研發出半導體潔凈烤箱。潔凈烤箱主要通過空氣過濾器來凈化環境,避免空氣中的細小顆粒物進去箱內。箱內空氣封閉自循環,經100級耐高溫高效空氣過濾器反復過濾,使工作室內處于無塵狀態。潔凈烤箱主要適用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
1、結構組成:由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道循環系統組裝而成,結構合理。
2、密封性設計:全周氬焊,采用耐高溫硅橡膠無塵密封條隔熱,確保密封性和潔凈度
3、外部防塵處理:外材質為SPCC鋼板經過粉體噴塑,耐磨不掉塵渣;
4、高效過濾器:HEPA過濾網構造潔凈室,99.99%有效過濾,潔凈度達到等級100級;
5、節能:保溫材質為高密度纖維,保溫節能;
6、分層結構設計:內箱層板高低可調,可自由取出;
7、溫控儀表:自動控制溫度,恒溫及時間控制,設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
8、電器配件:全部采用,PID演算的溫控系統和超溫保護裝置,智能恒溫,溫差小,適用不同產品的長、短烘烤。
選配組件
1、程序控溫:可配置程序型溫度控制器,實現多組程序控溫。
2、測溫功能:多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調節:可加裝風量調節裝置,亦可實現風門開關程序控制。
4、溫度記錄儀:可配置多通道溫度記錄儀,打印機或RS485接口,監控記錄溫度變化狀況。
產品參數
PRODUCT PARAMETERS
型號 | YH-J100-ES-02 |
溫度范圍 | 常溫—300℃ |
溫度精度 | ±1℃ |
溫度均勻性 | ±2%(空載) |
加熱功率 | 6KW |
容積 | 350L |
工作尺寸(高*寬*深) | 910*620*620(mm) |
外部尺寸(高*寬*深) | 1750*855*1030(mm) |
過濾器 | HEPA耐高溫高效過濾器(CLASS 100) |
含氧量范圍 | 1%-100PPM(選配) |
升溫速率 | 升溫速率可調,空載常溫升至175℃大約30分鐘 |