實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體檢測(cè) TBM-900詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
一、儀器用途
TBM-900 半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長(zhǎng)、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場(chǎng)清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn)，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
采用優(yōu)良的無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計(jì)理念，可以方便升級(jí)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)偏光觀察、暗場(chǎng)觀察等功能，緊湊穩(wěn)定的高剛性主體，充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計(jì)，使操作更方便舒適，空間更廣闊。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察，是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)研究的理想儀器。不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計(jì)算機(jī)顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 孔徑數(shù)值 | 工作距離(mm) |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距明場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.2 | |
| 50X | 0.70 | 2.5 | |
| 80x | 0.80 | 1.25 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、
磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.機(jī)械式載物臺(tái):外形尺寸:280mmX270mm，移動(dòng)范圍:橫向（X）204mm,縱向（Y）204mm
7.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：12V 50W鹵素?zé)?亮度可調(diào)；
9.防霉系統(tǒng)
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、
磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.機(jī)械式載物臺(tái):外形尺寸:280mmX270mm，移動(dòng)范圍:橫向（X）204mm,縱向（Y）204mm
7.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：12V 50W鹵素?zé)?亮度可調(diào)；
9.防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-900):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù)
TBM-900型： 503500倍
六、選購(gòu)件
1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:40X 60X 100X 3.二維測(cè)量軟件
