工作特性:
特性 參數值
供電電壓 3.3Vdc ±10%;5.0Vdc±10% 供電電流 16mA 工作溫度范圍 -20~+70℃ 補償溫度范圍 0~50℃ 零點精度
滿量程的 ±0.02% 響應時間
1ms(典型值) 分辨率
最小12位 啟動時間 17ms 預熱時間
30ms 校準介質 氮氣 總線標準 I2C,快速模式(至400 KHZ) 零點穩定性 偏移:滿量程的±0.01%
額定參數:
25PSI
特性 參數值 供電電壓 -0.3VDC-6.0VDC 輸出引腳電壓 -0.3V-輸入電壓 儲存溫度范圍 -40~+125℃ 流量變化 5.0 SLPM/S 共模壓力 流量 10 SLPM