HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控制器/流量計

S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標

編號	項目	S49 31/MT	S49 31A/MT
1	流量規格	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	準確度	±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% F.S)
5	線性	±1.0%F.S，±1.5%F.S
6	重復精度	±0.2%F.S
7	響應時間	(3～4)s
8	工作壓差范圍	(0.05～0.3)MPa;           (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9	耐壓	3MPa;           10MPa
10	工作環境溫度	5℃～45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton®，    EPDM，  或其他由用戶
13	漏率	1×10-9atm.mL/s (He)
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm  或其他
15	輸入輸出信號	0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16	供電電源	±15V（±2%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17	外形尺寸mm	134×134×38
18	重量kg	1.0

 

S49 31/MT 系列質量流量控制器外形及安裝尺寸