日本HORIBA SEC-Z500X系列多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
型號:
SEC-Z512KX SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z532MGXN SEC-Z542MGXN SEC-Z552MGX SEC-Z562MGX
SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z514MGXN SEC-Z534MGXN SEC-Z544MGXN
SEC-Z554KX SEC-Z564KX
SEC-Z517KX SEC-Z517MGX SEC-Z527MGXN
SEC-Z537MGXN SEC-Z547MGXN SEC-Z557MGX SEC-Z567MGX
品 牌：HORIBA STEC
產品型號：SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原產 國：國外 日本
詳細說明：SEC-Z500X系列數字式質量流量控制器、流量計
質量流量控制器是半導體生產設備上的關鍵部件。它的質量和性能是影響半導體制程優劣的主要因素。HORIBA STEC作為一家長期以來，為半導體持續不斷的提供高質量、高性能的元器件供應商，已將擴展到50%以上。
特征
- 高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現量程上的高精度。為了真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體創建了針對不同氣體的校正數據，建立標準氣體管理系統，實現氣體精度確認。 - 高速響應
裝載“變量PID系統”可實現兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續變化。即使滿量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。 - 多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單更改MFC的規格。MFC的規格改變不需從設備端拆卸。此舉減少MFC庫存需求，減少時間和成本的浪費。
制造: HORIBA STEC
產品相關尺寸及其他
