chiller溫控器冰水機HRS090系統(tǒng)檢漏服務(wù)
主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller適用于半導(dǎo)體、元器件、芯片等高低溫溫度模擬測試，這是一種生產(chǎn)過程中的控溫設(shè)備。半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller采用了PID控制算法和自適應(yīng)的控溫技術(shù)，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機等組成。
chiller溫控器冰水機HRS090系統(tǒng)檢漏服務(wù)
制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務(wù)
chiller溫控器冰水機HRS090系統(tǒng)檢漏服務(wù)
泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降，溫度無法調(diào)節(jié)等，按照客戶遇到問題時提出的要求，進(jìn)行維修。
1. 水泵泵體，卡住，異響，振動大
2. 冷凍機，無法制冷，管道堵塞，跳電
3. 維修熱交換器、加熱器
4.制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務(wù)
chiller溫控器冰水機HRS090系統(tǒng)檢漏服務(wù)
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
chiller溫控器冰水機HRS090系統(tǒng)檢漏服務(wù)
應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等
高低溫液體冷卻機Chiller
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
運行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
