性能

• 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
• 無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

• MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件

型號(hào)變體

• 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號(hào)（MCE系列）
• 閥門內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見下文）

另有：

• 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)(MC系列)

閥門選項(xiàng)

您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

• MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
• MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動(dòng)截止閥

腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級(jí)為303不銹鋼閥門，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項(xiàng)

• 流量累加器
• 集成式電位計(jì)控制
• 高精度或自定義校準(zhǔn)

反應(yīng)濺射氣體流量控制

以50ms控制響應(yīng)速度精確控制真空室內(nèi)反應(yīng)氣體的分壓以避免靶件噴涂過度，良好的分辨率保證了適當(dāng)?shù)脑俞尫牛瑲鈩?dòng)截止閥確保無流量時(shí)的正向切斷。

升級(jí)您老舊的熱式質(zhì)量流量控制器只是我們艾里卡特簡(jiǎn)化真空鍍膜所用的一種方式。