結(jié)構(gòu)・方式 | 多孔質(zhì)空氣軸承・檢測器式回轉(zhuǎn) |
回轉(zhuǎn)精度 | 0.05μm |
測定徑 | 內(nèi)外徑同 φ550mm(※EC5100H) |
裝載重量 | 200kg(※EC5100H) |
上下移動量 | 1000mm(b測桿使用時)(※EC5100Hの場合) |