VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術目前在在人臉識別、3D感測、汽車自動駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現(xiàn)實)/AR(增強現(xiàn)實)/MR(混合現(xiàn)實等應用領域越來越受到關注，萊森光學®可以為客戶提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測解決方案：LIV光譜/功率積分測試、NF近場特性測試、FF遠場特性測試、BRDF/BTDF光學材料AR/VR特性測試、VCSEL專用積分球,實現(xiàn)對VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測量、光譜波長及功率測量、近場遠場測量等各種定制化應用需求。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型LIV光譜功率積分測試系統(tǒng)由萊森光學專門針對基于3D-SENSING 脈沖激光LIV光譜測試研發(fā)而成，特別適合晶圓和模組封裝用戶在實驗室對VCSEL/LD的研發(fā)使用，用于驗證VCSEL/LD各個工藝過程中的光電特性。實現(xiàn)對VCSEL/LD單體、模組、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光譜波長及功率測量等。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型多功能光譜功率積分測試系統(tǒng)專門針對基于3D-SENSING 脈沖激光、脈沖LD/LED測試研發(fā)而成，該系統(tǒng)可用于對VCSEL、LD/LED光電特性檢測，以保證VCSEL、LD/LED脈沖激光輻射光譜滿足器件光學功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全應用需求。
主要功能特點
● 強大的專用軟件分析功能，可以掃描測量LIV曲線，PCE曲線，溫度-峰值波長-光功率曲線，可設置掃描精度和速度，可測量光電轉(zhuǎn)換效率，自動保存測試數(shù)據(jù)
● 高精度光學分辨率光譜儀光譜范圍400-1100nm可選，光譜分辨率0.1nm，實現(xiàn)光譜峰值波長和半高全寬（FWHM）測量，可實現(xiàn)2kHz采樣速率，可掃描測量溫度-峰值波長-功率曲線等
● 手動或全自動探針平臺，可實現(xiàn)對晶圓或模組的自動化LIV光譜功率測試
● 可對樣品精確控溫，可設置掃描步長，可實現(xiàn)高速同步觸發(fā)，可預設/自定義測量
● 多線程聯(lián)用（大功率高精度電流源、高精度高速數(shù)字萬用表、多通道同步數(shù)字萬用表、功率探頭、光譜儀、溫度控制器等），可以實現(xiàn)光譜、功率、電流、溫度等參數(shù)的程序化、自動化掃描測量
● 一體化工控機箱，高分辨液晶顯示，自動化集成化操作軟件
● 采用四線測量方法，實時記錄實測電流、電壓值，功率值，測試更準確
● 程序可設置連續(xù)及脈沖掃描兩種模式
● 壽命老化檢測功能：在恒定或脈沖條件下（電流、溫度），每隔時間間隔測試記錄一次光譜和功率數(shù)據(jù)
LIV測試軟件界面
VCSEL光譜隨電流的變化
LIV、I-V、I-L 掃描曲線
溫度、峰值波長、光功率掃描曲線
主要技術指標
型號 | LS-VCS-SCI-LIV |
波長范圍 | 300~1700nm（可選） |
光學功率 | 0~50W |
光譜分辨率 | 0.1nm（800~1000nm） |
光電轉(zhuǎn)換效率 | 0~99% |
積分球 | 2吋/4吋/6吋 |
工作電壓 | 0~35V，3A@6V |
工作電流 | DC電流：±100pA~±3.03A；脈沖電流：0~±10A |
閾值電流 | Yes |
斜率效率 | Yes |
電阻（內(nèi)阻） | Yes |
PD暗電流 | 1pA~100nA |
PD光電流 | 0~100mA |
光功率-PD電流曲線 | LIV特性曲線 |
QCW / CW | 直流可調(diào)/PWM可調(diào) |
脈沖時間 | 3A@6V，最小脈寬0.15ms |
探針臺 | 選配 |
占空比 | 0~99% |
控溫范圍 | 5℃~85℃@精度±1℃ |
尺寸/重量 | 37cm×52cm×41cm，25kg |
