/產/品/詳/情
PRDUCT DETAILS
/SuperViewW1光學3D表面輪廓儀
技術參數
性能特點
高精度、高重復性：采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統；的隔振系統加持；
環境噪聲檢測功能：具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾；
精密操縱手柄：集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作；
雙重防撞保護措施：在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，限度的保護儀器；
雙通道氣浮隔振系統：既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源條件下可穩定工作。
XtremeVision 3D測量分析軟件
一體化操作軟件,測量與分析同界面操作，預先配置好分析參數，軟件自動統計測量數據，實現快速批量測量功能。
/應/用/實/例
APPLICATION INSTANCE
SuperView W1光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、工、科研院所等領域中。
應用案例
▲超光華陶瓷樣件測量
?復合材料測量
?超疏水表面形貌測量
?水機葉片磨損檢測
