納米制造工藝
自有核心納米加工產線，包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等。成熟的關鍵元件制造工藝，實現消費級衍射光學元件。
衍射器件設計
自有DOE設計團隊，豐富的衍射光學理論計算和設計經驗，可以定制開發各種DOE器件。
成熟的供應鏈
長期的硅光半導體產業鏈管理經驗。快速交付和高良品率的保證。
功能參數
產品參數
- 材料：玻璃、玻璃/樹脂、金屬、硅等
- 最小光柵結構寬度：30nm
- 二維光柵結構形狀：矩形、三角形（閃耀光柵）、斜齒
- 三維光柵結構形狀：納米柱、納米孔
- 光柵結構深寬比：可達10：1
- 加工面積：12英寸
