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LUPHOS SL/260/420
LUPHOS SL/260/420系列儀器采用高速非接觸式3D非球面光學面形測量系統 LuphoScan測量平臺平臺能夠輕松進行非球面、球面、平面和自由曲面的測量，是一款基于多波長干涉技術（MWLI®）的干涉、掃描測量系統，它專為旋轉對稱表面的超精密非接觸式3D形狀測量而設計。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如；拐點的輪廓或平坦的尖點), 物體直徑可達420 mm。因為采用多波長干涉技術（MWLI®）傳感器技術，因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。LuphoScan系統能夠為高質量的光學表面3D形狀測量提供效益。
功能及特點
技術參數：
(1) 儀器型號：①LuphoScan 120、②LuphoScan 260 (A, B)、③LuphoScan 420 (A, B)
(2) 超高、可重復精度:≤ ± 50 nm
(3) 被測物直徑：①120mm、②260mm、③420mm
(4) SAG高度凸面：①20mm、②55mm,50mm、③80mm,75mm
(5) SAG高度凹面：①-15mm、②-20mm,-30mm、③-30mm,-50mm
(6) 90°斜坡直徑：①25mm、②75mm,55mm、③105mm,65mm
(7) 被測物重量: ①15kg、②25kg、③50kg
(8) 測量時間(3D拓撲結構)平面, ∅ =25 mm : 2:00分鐘 (16 點/mm2),4:00分鐘(100 點/mm2)
(9) 測量時間(3D拓撲結構)球面,Roc = 60mm,∅ = 40 mm ：3:32分鐘 (16 點/mm2),7:38 分鐘(100 點/mm2)
測量時間(3D拓撲結構)球面, 球面, Roc = (±) 80 mm,∅=80 mm ：6:08 分鐘 (16 點/mm2),12:38 分鐘(100 點/mm2)
