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TJQG TJ不銹鋼微距掩膜版濺射掩模板微結(jié)構(gòu)加工

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)TJQG
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  • 所在地天津市
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  • 廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 所在地區(qū)天津市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量312
  • 人氣值8520
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TJ不銹鋼微距掩膜版濺射掩模板微結(jié)構(gòu)加工

掩膜版(又稱(chēng)光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱(chēng)掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
TJ不銹鋼微距掩膜版濺射掩模板微結(jié)構(gòu)加工 產(chǎn)品詳情

TJ不銹鋼微距掩膜版濺射掩掩模激光精密切割微結(jié)構(gòu)加工

掩膜版(又稱(chēng)光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱(chēng)掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。

掩膜版的應(yīng)用

每個(gè)芯片上的實(shí)際電路結(jié)構(gòu)是用掩模版和光刻技術(shù)制作形成的。掩模版是器件或部分器件的物理表示。掩模版上的不透明部分是用紫外線(xiàn)吸收材料制作的。光敏層即光刻膠被預(yù)先噴到半導(dǎo)體表面。

掩模和光刻工藝是很關(guān)鍵的,因?yàn)樗麄儧Q定著器件的極限尺寸。除了紫外線(xiàn),電子束和X射線(xiàn)也能用來(lái)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光 。


掩模版的性能直接決定了光刻工藝的質(zhì)量。在投影式光刻機(jī)中,掩模版作為一個(gè)光學(xué)元件位于會(huì)聚透鏡(condenser lens)與投影透鏡(projection lens)之間,它并不和晶圓有直接接觸。掩模版上的圖形縮小4~10倍(現(xiàn)代光刻機(jī)一般都是縮小4倍)后投射在晶圓表面。為了區(qū)別于接觸式曝光中使用的掩模版投影式曝光中使用的掩模又稱(chēng)為倍縮式掩模(reticle)  。


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