●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制，與某研究所國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制，先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng)，聯(lián)合申報(bào)國(guó)家2項(xiàng)，用于固體潤(rùn)滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域，服務(wù)于科研和國(guó)家重大項(xiàng)目需求，具有多功能、高穩(wěn)定特點(diǎn)，歡迎各位聯(lián)合研制。
●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。
●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）
●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
●真空抽速：4000-7000L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì)，全金屬防爆真空規(guī)；
●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）；
●磁控靶組件：4個(gè)矩形靶，4個(gè)圓柱靶，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
●離子源：2套線性離子源，匹配專用電源；
●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；
●烘烤溫度：400℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套（標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位，可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛；
●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。
●特別說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得國(guó)家科技進(jìn)步、國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎(jiǎng)勵(lì)，公司提供一攬子技術(shù)解決方案，同時(shí)與合作伙伴共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
