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主要特點
本設備用于高溫高壓實驗用途，由外接三種氣體即氙氣.氮氣.氫氣通過高壓管進入氣體調節閥，再由調節閥通過高壓管進入質量流量計，再由質量流量計通過高壓管進入四通混氣盒(混氣盒作用即為把三種氣體混合然后輸出)再由一根高壓管把三種氣體輸出至兩通混氣盒(兩通混氣盒體積較大,內部灌入清水由一臺功率為1500W的恒溫加熱臺為清水加熱直至產生水蒸氣)通過氣體壓力把水蒸氣與另外三種氣體輸送至單向閥(單向閥的反向壓差為10MPa,進出接口為G1/4)再由單向閥通向連接法蘭(連接法蘭上有法蘭體與壓力傳感器，高壓單向閥，高壓電磁閥組成。作用為：當壓力傳感器檢測到內部壓力大于所設定的壓力時通過信號傳送至高壓電磁閥，電磁閥打開釋放出多余壓力，以保證內部壓力與所設定相同。)再由連接法蘭進入加熱管進行加熱。加熱過的氣體通過氣體壓力由出氣口排出。
技術參數
1.高溫爐技術參數：
導氣管Φ3X20cm，導氣管口設測溫點，溫度與加熱腔體溫度溫差不超過200℃;
| 管尺寸 | Φ50外徑*Φ25內徑*950mm |
| 加熱元件 | 電阻絲（進口康泰爾電阻絲） |
| 加熱區長度 | 600mm |
| 恒溫區長度 | 300mm |
| 工作溫度 | 1050℃（合金鋼耐壓管） |
| 溫度 | 1100℃（合金鋼耐壓管） |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 爐門結構 | 開啟式 |
| 工作電源 | AC 208-240V Single Phase，50/60Hz |
| 額定功率 | ±1.5% |
2.混氣系統的功能和主要參數：
| 重量 | 35Kg |
| 外形尺寸 | 600*600*650mm |
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標準量程（N2） | 100sccm、200sccm、200sccm、500sccm（可根據用戶要求定制） |
| 準確度 | ±1.5% |
| 線性 | ±0.5-1.5% |
| 重復精度 | ±0.2% |
| 相應時間 | 氣特性：1-4Sec 電特性：10Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1-0.5MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4” |
| 顯示 | 4位數字顯示 |
| 工作環境溫度 | 5-45高純氣體 |
| 內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
| 壓力真空表 | -0.1-0.15MPa，0.01MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
對于水的混合通入，采用特殊的結構，氣體在進入前經過導氣管，導氣管下設有連通導氣管的容器，容器中裝入一定量的水，設備工作時，氣體通入過程中將水蒸氣帶入加熱裝置中，控制連通處的閥門和水的溫度，從而控制水蒸氣的速度以及進入導氣管的氣量，從而控制進入加熱裝置中的水蒸氣的量。
