壓力直接作用在測量膜片的表面,使膜片產生微小的形變,測量膜片上的高精度電路將這個微小的形變變換成為與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,然后采用專用芯片將這個電壓信號轉換為工業標準的4-2OmA電流信號或者1-5V電壓信號。
由于測量膜片采用標準話集成電路,內部包含線性及溫度補償電路,所以可以做到高精度和高穩定性,變送電路采用專用的兩線制芯片,可以保證輸出兩線制4-20mA電流信號。
德國wika壓力變送器應用
半導體、平板顯示器和光伏行業
用于為半導體生產系統供應超純氣體
產品特性
高精度壓力測量0.15 % RSS
**的長期穩定性
信號降噪和屏蔽
真空基準壓力測量
主動溫度補償
德國wika壓力變送器描述
可靠
WUD-2x系列超高純度傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結合,能夠為當前市場需求提供*安全、***的壓力測量。
基于真正真空基準的壓力測量技術,加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術,確保了高精度壓力測量以及優異的長期穩定性。
主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響,即使在溫度變化很大的應用中仍然能夠安全使用,如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器 采用特別設計,可承受安裝帶來的扭曲應力。特殊的薄膜設計可消除過程連接或焊接接縫處的負載造成的傳感器失效風險。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統中。明亮的LED顯示屏可旋轉,因此可從任意位置輕松查看讀數。
配備2個可編程開關輸出,可針對具體應用進行監測及控制。
結構緊湊
WUD-2x是市面上*緊湊的UHP傳感器,夠用于安裝空間狹小的場合,甚至可輕松對現有裝置進行改裝。