產品概述
臺式等離子清洗機P-T,對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性,地清除樣品表面的有機污染物。
一、產品原理
是一種非破壞性的表面處理設備,它是利用能量轉換技術,在一定真空負壓的狀態下,以電能將氣體轉化為活性的氣體等離子體,該等離子體以一定能量作用于樣品表面,引起分子結構改變和表面形貌的納米級變化,從而達到對樣品表面進行改性和分解污染物的目的。
二、產品特點:
1、桌面型,臺式小型,性能穩定、操作簡便。
2、標配 40KHz 等離子源,可選配 13.56MHz 射頻等離子發生器。
3、小身材,大容量,有效處理面積大。氣浴電極,清洗效率高。
4、適用各種幾形狀、表面的金屬、陶瓷、硅片、等物件表面超清洗和表面改性。
5、全數字控制方式,實時顯示設備狀態。
6、全手動模式適應科學研究多種需求,真空保壓,氣體純化等。
7、全自動模式,一鍵啟動,適合成熟工藝和連續工作。
規格參數
P-T 參數(標準配置) | |
外部尺寸 | 480mm*380mm*420mm |
真空腔尺寸 | 不銹鋼腔體,φ150mm*深 230mm |
電極尺寸 | 95*170mm,多控自適應平板電極, |
等離子體發生器 | 40kHz 專用等離子源; 頻率:13.56MHz(可選);自適應阻抗匹配電源 |
功率 | 0-300W 連續可調,精度 1W |
真空計 | 熱電偶真空計 0-1000mT |
供氣 | 1 路氣體,精密針閥控制(可配第二路氣體通道) |
控制方式 | 4.3 寸觸摸屏,多級應用菜單,操控簡易快捷 |
選配件 | 飛越 VRD 油泵/萊寶/安捷倫 DS 系列干泵氧氣發生器,氣體混合器粉體處理專用裝置 |
電源 | 220V,10A |