產品概述
原子力顯微鏡PZ-1000 AFM采用掃描探頭和樣品臺集成一體的光機電一體化設計。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器可根據不同精度和掃描范圍要求選擇，彈簧懸掛式防震方式的結構簡單實用，抗力強。
一、主要功能特點
硬件系統
1、主機與控制箱分開，外形結構簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗力強；
3、精密激光定位裝置，使用時無需調節光斑位置；
4、采用精密探針定位模塊，更換探針簡單方便；
5、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
6、伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區域精確定位；
7、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區域；
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
9、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
10、模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進與維護；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用；
12、彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，抗力強。
軟件系統
1、可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512；
2、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
3、可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域；
4、可任意選擇樣品起始掃描角度；
5、激光光斑檢測系統的實時調整功能；
6、可任意定義掃描圖像的色板功能；
7、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
8、支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正；
9、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
規格參數
| 序號 | 名 稱 | 參 數 |
| 01 | 工作模式 | 接觸、摩擦力(可選配輕敲、相位、磁力、靜電力) |
| 02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm |
| 03 | 掃描范圍 | 橫向20um，縱向2um |
| 04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm |
| 05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
| 06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A |
| 07 | 數據采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
| 08 | 掃描角度 | 任意 |
| 09 | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
| 10 | 馬達趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
| 11 | 光學放大倍數 | 4X |
| 12 | 光學分辨率 | 2.5um |
| 13 | 圖像采樣點 | 256×256，512×512 |
| 14 | 反饋方式 | DSP數字反饋 |
| 15 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 16 | 計算機接口 | USB2.0 |
| 17 | 運行環境 | 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統 |
