Nagoya名古屋NXI-3700半導體級3DX線超高解析度自動檢查機特點簡介：
· 自動檢查功能 Through hole中銅電鍍檢查 C4焊錫球檢查
· 開放型納米焦點X線管 管電壓:20kV-160kV 最小分辨率：0.25μm
· FPD 600萬像素/1.1.800萬像素 分辨率：0.25 μm-10μm/0.25-23.5μm
· 傾斜式CT方式
Nagoya名古屋NXI-3700半導體級3DX線超高解析度自動檢查機規格參數：
項目 | 參數 |
| 對應工件尺寸 | W50×L50~W515×L610mm |
| 檢查工件領域 | W475×L570mm |
| 對應工件厚度 | 0.1-0.3mm |
| 對應工件重量 | 2.0kg以下 |
| 部品高度 | 基板上40mm |
| X線發生管 | 開放型納米焦點 |
| 管電壓 | 20-160kv |
| 管電流 | 0-200μA |
| 最小分辨率 | 0.25μm |
| X線檢出器 | 垂直：FPD 600萬像素/傾斜：1.1.800萬像素 |
| 分辨率 | 垂直：0.25-10μm/傾斜：0.25-2.5μm |
| 空氣壓力 | 0.5MPa |
| 電源電壓 | AC 220V±10%，單相50/60Hz |
| 消費電壓 | 10kVA以下 |
| 使用環境條件 | |
| 周圍溫度 | 22℃±2℃ |
| 濕度 | 50%±10%RH (無結露) |
| 床振動 | 振幅2μm以下 |
| X線泄露量 | 低于0.5μSv/h |
| 外形尺寸 | W1780×D2530×H2000mm |
| 重量 | 約7500kg |
Nagoya在線型3DX線自動檢查設備NXI-3700可選功能
· 通過系統傳輸獲得PC 自動檢查時所獲取斷層圖片，對于不良部品可以進行確認并編輯
· 3D合成軟件可對X線的斷層圖片進行編輯并合成
