Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵
Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s（視氣體而定）的抽速，并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強時實現(xiàn)的壓差。該泵無油、無污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時間 (MTTF) 大于 250000 小時。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
特性
功耗更低、性能更佳
通過減少發(fā)熱而節(jié)能，并提高可靠性
為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片
通過降低工作溫度進一步提高可靠性
Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸
功率要求低，前級耐壓高及可承受高氣載
可拆卸的前級連接器
可連接各種前級泵
冷卻方式靈活（風(fēng)冷或水冷）
性能指示
| 抽速： | ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250： | N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s | He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s | H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s |
| 壓縮比： | ISO 160 | N2：1 × 109 | He：1 × 107 | H2：1 × 106 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 | ISO 160 ISO 200 | ISO 200-F 螺栓 | CFF 10 英寸 | ISO 250 ISO 250-F 螺栓 |
| 前級管道法蘭 | KF 40 | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 38,000 rpm | |||
| 啟動時間 | 小于 4 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 | 機械：Agilent DS 402 旋渦式干泵：Agilent TS300，IDP-15 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 冷卻要求 | 強制通風(fēng)或水冷 | |||
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭溫度 120 °C（CF 法蘭） 抽氣口法蘭溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | |||
| 振動參數(shù)（位移） | 在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm | |||
| 重量 kg（磅）： | ISO 160 法蘭 ISO 200 法蘭 CF 10 英寸法蘭 ISO 250 法蘭 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭，CF 10 英寸法蘭 | 19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2) |
