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CVD反應裝置2

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  • 所在地大連市
  • 更新時間2023-09-14
  • 廠商性質其他
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裝置概述


本裝置是CVD反應裝置,擁有四個氣路,兩套獨立的氣路控制單元,加熱爐安裝在裝置的側面上下安裝,精密的儀表控制加熱爐爐溫和氣體流量,具有可靠性高,操作簡便,結構緊湊的特點。該裝置可用于化學沉積及與CVD特點相似的材料制備過程。





技術參數



- 氣路:1-4(任選);

- 加熱爐:1-2(任選),加熱爐溫度Max:1000 ℃

- 氣體質量流量器:0 - 500 mL/min(任選);

- 工作壓力:常壓;

- 溫度控制:± 0.5 ℃;

- 計算機控制(任選)。




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