在宇航空間電推進(jìn)、超精密等離子體加工、半導(dǎo)體晶圓刻蝕等領(lǐng)域的技術(shù)極限指標(biāo)與工藝穩(wěn)定性均與等離子體精密診斷緊密相關(guān)，傳統(tǒng)的探針法測(cè)量等離子體容易受到電、磁場(chǎng)干擾，測(cè)量的可重復(fù)性與可互換性差，測(cè)量結(jié)果通常僅有數(shù)量級(jí)上的指導(dǎo)意義；激光誘導(dǎo)熒光診斷系統(tǒng)能夠顯著提升等離子體測(cè)量結(jié)果的精度和全面性，是世界等離子體物理研究機(jī)構(gòu)的重要測(cè)試研究工具。NEWPORT 公司LIF-VelocityTM-6700激光誘導(dǎo)熒光診斷系統(tǒng)使用了專門為速度分布函數(shù)測(cè)試研發(fā)的專用激光模組，在各測(cè)試性能指標(biāo)方面大幅優(yōu)于目前其他商用系統(tǒng)。
NewPort旗下的New Focus系列可調(diào)諧激光器擁有*的可調(diào)諧二極管激光系統(tǒng)，為了保證在整個(gè)輸出光譜內(nèi)處于單個(gè)模式和模式跳模自由，具有非常精細(xì)的調(diào)諧分辨率、高穩(wěn)定性、低噪聲和窄線寬。本激光誘導(dǎo)熒光診斷系統(tǒng)圍繞TLBVelocity™系列專用定制窄線寬可調(diào)諧激光器設(shè)計(jì)組建，寬調(diào)諧激光器具有超寬粗調(diào)諧范圍，其種子光具有超過50 mW的自由空間輸出功率，可提供10 nm/s的調(diào)諧速度，無跳模的調(diào)諧范圍高達(dá)60GHz。
? 可測(cè)量等離子體參數(shù)特性：離子/原子速度分布函數(shù)、速度、溫度、亞穩(wěn)態(tài)相對(duì)密度；
? 可測(cè)量物質(zhì)種類：Xe I，Xe II等（可根據(jù)應(yīng)用需求定制）
? 具有IV類激光級(jí)精確波長(zhǎng)無跳模調(diào)諧功能；
? 具有對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行實(shí)時(shí)精密測(cè)量功能；
? 具有對(duì)速度零點(diǎn)的激光波長(zhǎng)精確標(biāo)定功能；
? 具有激光誘導(dǎo)熒光光譜一鍵測(cè)試記錄功能；
? 具有等離子體參數(shù)特性標(biāo)定以及一鍵分析功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
? 在空間電推進(jìn)：霍爾推力器、離子推力器、MPD、VASIMR等
? 超精密等離子體加工：霍爾效應(yīng)離子源，考夫曼型離子源等
? 半導(dǎo)體晶圓刻蝕：CCP刻蝕機(jī)、ICP刻蝕機(jī)等
? 核聚變物理：EAST等托卡馬克核聚變裝置
技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號(hào) | NEWPORT公司LIF-VelocityTM-6700 |
產(chǎn)地 | 美國(guó) |
測(cè)試參數(shù) | 離子/原子速度分布函數(shù)、速度、溫度、亞穩(wěn)態(tài)相對(duì)密度 |
激光波長(zhǎng)粗調(diào)范圍覆蓋 | 834nm-835nm |
無跳模調(diào)諧范圍 | 不低于60GHz |
輸出激光功率 | 不低于400mW |
激光波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)精度 | 優(yōu)于0.75ppm |
激光波長(zhǎng)監(jiān)測(cè)可重復(fù)性精度 | 優(yōu)于0.1pm |
單次測(cè)量速度分布函數(shù)寬度 | >40000m/s |
速度測(cè)量范圍： | 0.5km/s~80km/s |
速度測(cè)量誤差 | ±0.3km/s |
速度測(cè)量重復(fù)性 | 1.0% |
測(cè)量亞穩(wěn)態(tài)密度相對(duì)值誤差 | 15% |
測(cè)量離子/原子溫度范圍 | 600K~30000K |
速度零點(diǎn)標(biāo)定偏差 | 不超過0.2pm |
基本尺寸：L（mm）×W（mm）×H（mm） | 1500mm×1200mm×750mm |
重量 | 200kg |
工作電源 | 外部交流220VAC/50Hz |
全系統(tǒng)功耗 | 不大于1450W |
LIF系統(tǒng)實(shí)物裝置及典型測(cè)試應(yīng)用結(jié)果
