Description
一、產品簡介
AS200系列氣體質量流量控制器，為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產品可支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號，可以使用雙電源（±15VDC）或單電源（+15～+28 VDC）。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件。
二、產品亮點
● 可同時支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號
● 使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）
● 支持自動故障報警，多氣體多量程等功能
三、應用場景
氣體質量流量控制器（AS200系列）用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。
