世偉洛克是半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用的技術(shù)和解決方案提供商，同時(shí)也是 ALD 閥門技術(shù)的*。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點(diǎn)：
●高速啟動(dòng)下的超高循環(huán)壽命
●Cv 范圍從 0.27 至 1.7
●使用熱動(dòng)元件時(shí)，全浸沒(méi)溫度高達(dá) 392°F (200°C)
●適合于采用標(biāo)準(zhǔn) 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應(yīng)用
●模塊化表面安裝、卡套管對(duì)焊和 VCR® 端接
●電子或光學(xué)執(zhí)行機(jī)構(gòu)位置傳感選購(gòu)件
ALD3 和 ALD6 UHP 隔膜閥
ALD 隔膜閥具有超長(zhǎng)的使用壽命、高速的啟動(dòng)和高達(dá) 0.62 的流量系數(shù)，與熱執(zhí)行機(jī)構(gòu)、位置傳感器和電磁閥配合使用，可在原子層沉積應(yīng)用場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)性能。
規(guī)格
工作壓力 | 真空至 145 psig (10.0 bar) |
爆裂壓力 | 3200 psig (220 bar) |
執(zhí)行壓力 | 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar） |
溫度 | 32° 至 392°F（0° 至 200°C） |
流量系數(shù)(Cv) | 0.27 或 0.62 |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 不銹鋼 |
隔膜材料 | 鈷基高溫合金 |
端接 | |
類型（尺寸） | 內(nèi)螺紋 VCR® 面密封接頭（1/4 in. 至 1/2 in.） |
適用于高流量應(yīng)用的 ALD20 UHP 閥門
ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產(chǎn)品系列的成員。正在申請(qǐng)的設(shè)計(jì)允許利用具有挑戰(zhàn)性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管，因此與其他 ALD 閥相比，可促進(jìn)清潔操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 閥可以熱浸在氣箱中，并可以從 50°F (10°C) 加熱到 392°F (200°C)。
規(guī)格
工作壓力 | 真空至 20 psig (1.4 bar) |
爆裂壓力 | >3200 psig (220 bar) |
執(zhí)行壓力 | 70 至 90 psig（4.8 至 6.2 bar） |
溫度 | 50° 至 392°F（10° 至 200°C） |
流量系數(shù) (Cv) | 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型） |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 或合金 22 |
波紋管材料 | 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度） |
端接 | |
類型（尺寸） | 內(nèi)螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.) |
