產品用途：該系列電爐系周期作業(yè)，供企業(yè)實驗室、大專院校、科研院所等單位選用。設備為用戶提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應用在半導體，納米技術、碳纖維等新材料新工藝領域。
一、 操作便捷性：
1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。
2、使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。
3、取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
二、結構實用性：
1、爐膛材料采用優(yōu)質的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500℃的優(yōu)質硅碳棒。
2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。
3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
4、*的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。
三、使用安全性：
1、超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。
2、漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。
四、控制智能化：
1、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。
2、國產程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫，進口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。
3、電爐內配置有485轉換接口，可實現(xiàn)與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。
五、周邊拓展性：
1、真空控制系統(tǒng)。通過各種真空控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)樣品在低、中、高真空環(huán)境下進行試驗。
2、氣體流量控制系統(tǒng)。通過浮子或質量流量控制器調節(jié)進氣量，以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的實驗要求。
六、設計性：
該設備為產品，具有多項獨立自主的知識產權。外觀美觀，結構合理，使用方便。
產品用途：該系列電爐系周期作業(yè)，供企業(yè)實驗室、大專院校、科研院所等單位選用。設備為用戶提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應用在半導體，納米技術、碳纖維等新材料新工藝領域。
技術參數(shù)：
| 國產程序 | SK-G06143-L | SK-G08143-L |
| 溫區(qū) | 單溫區(qū) | |
| 溫度 | 1400℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 260mm | |
| 恒溫區(qū)長度 | 120mm | |
| 加熱元件 | 硅碳棒 | |
| 空爐升溫時間 | <30min | |
| 額定功率 | 5Kw | |
| 工作電壓 | 220V | |
| 溫度控制 | 國產程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫；進口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫； | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 剛玉管尺寸 | Φ60/53x1000mm | Φ80/70x1000mm |
| 爐管材料 | 剛玉管 | |
| 爐管工作溫度 | 1300℃ | |
| 配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | |
| 標準配置 | 氣路總成一套 (含真空壓力表)、剛玉管一支、鉤子一把、高溫手套一副 | |
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)； | |
| 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質量流量控制系統(tǒng)； | ||
| 計算機集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)； | ||
