| 微小液體質量流量計LF-F | 微小液體質量流量控制器LV-F |
提供超低微小流量檢測 | 提供超低微小流量控制 |
可精準檢測低沸點和高粘度液液體 | 可精準控制低沸點和高粘度液液體 |
抗壓性：10MPa | 抗壓性：10MPa |
超潔凈 | 超潔凈 |
HORIBA STEC 微小液體質量流量計LF-F 質量流量控制器LV-F,具備冷卻測試方式的液體質量流量計，可精確
檢測低沸點和高粘度液體的流量，儀器內部進行超潔凈處理并符合 RoHaS 環境標準
微小液體質量流量計LF-F
微小液體質量流量控制器LV-F
提供超低微小流量檢測
提供超低微小流量控制
可精準檢測低沸點和高粘度液液體
可精準控制低沸點和高粘度液液體
抗壓性：10MPa
抗壓性：10MPa
超潔凈
超潔凈
| 型 號 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
| 全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 檢測控制 | 5?99% F.S. | ||||
| 對象液體 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
| 液體 | 低于 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
| 精度*3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 重復性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 響應精度 | 3秒以內(T98) | 2秒以內(T98) | |||
| 使用環境 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
| 溫度影響 | ±0.1%F.S./℃ | ||||
| 工作差 | 0.05?0.3MPa | ||||
| 耐 壓 | 1MPa | ||||
| 壓力損失 | ー | ||||
| 流量設定 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
| 流量輸出 | 模擬：0?5 VDC(*小負荷電阻2kΩ)數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
| 驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部泄漏 | PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
| 接液部材質 | PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni | ||||
| 標準接頭 | 1/16”，1/8”卡套； | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
質量流量計
| 型 號 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
| 全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 檢測控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
| 對象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外 | ||||
| 液體粘度*2 | 不高于 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
| 精度*3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 重復性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 響應精度 | 3秒以內(T98) | 2秒以內(T98) | |||
| 使用環境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
| 溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ | ||||
| 工作差壓值值*5 | 不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥) | ||||
| 耐壓 | 10MPa (視為流量計) | ||||
| 壓力損失 | 不高于 500Pa | ||||
| 流量設定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
| 流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC ；數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
| 驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部泄漏規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
| 接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
| 標準接頭 | 1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
*1：LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預先所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預*行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關高粘度的液體請預*行咨詢協商。
*3： 以SEMI E56-1296為準。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
外形尺寸：
