美國哈希Anatel UP100超純水顆粒在線檢測儀包括充沛的光電系統(tǒng)、計數(shù)和通訊電路、一個的流速控制系統(tǒng)，所有的都集成在一起能滿足各種應(yīng)用。例如在DI water制造廠內(nèi)監(jiān)控，整個系統(tǒng)的流速超過of 1.0 L/min，這樣結(jié)果就有非常快的清洗，恢復(fù)時間及精確的流速，甚至于動態(tài)的入口壓力.
美國哈希Anatel UP100超純水顆粒在線檢測儀是一個近似于的系統(tǒng)，特別易于安裝或集成到現(xiàn)在系統(tǒng)中。如FMS（facility monitoring system ）或 BMS（building management system）。也可以選擇作為一個獨立的測試儀器，還有許多可用的兼容配套軟件。
0.1和0.2μm的標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺寸，可在0.1和5.0μm范圍內(nèi)定制
的流量控制和動態(tài)的入口壓力調(diào)節(jié)具備極快的清潔和恢復(fù)時間
高流速保證了快速的清洗時間
優(yōu)秀的流量調(diào)節(jié)，一體化設(shè)計保證了低維護(hù)量
激光能量診斷，顆粒計數(shù)軟件和的可追溯NIST標(biāo)準(zhǔn)4-20mA輸出
應(yīng)用：
電子半導(dǎo)體制造超純水系統(tǒng)顆粒計數(shù)檢測
性能：
測量粒徑尺寸（μm）：0.1,0.2 系統(tǒng)流速>1L/min
樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設(shè)置30-100psig
光源采用激光二極管
