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  • GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

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  • 更新時間2023-07-29
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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 產品詳情
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
功能特點
  • 設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。
  • 通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
  • 根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過CE認證。
技術參數
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
工作臺 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通風裝置 不需要
電源 220V
總功率 <2000W(包括真空泵)
真空室 ?160mm×120mm
樣品臺 ?50mm,且高度可調,可同時進行8個SEM樣品的鍍膜
均勻鍍膜 ?45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材
標準配件 1 金靶材 1個
2 進氣針閥 1個
3 保險絲 2個
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