產(chǎn)品型號(hào)：NBD-103(A)
該系統(tǒng)采用分子泵作為主工作泵，采用機(jī)械泵作為分子泵前級(jí)泵，真空系統(tǒng)組成機(jī)械泵內(nèi)部已配有隔斷放氣裝置，真空系統(tǒng)組成它主要由連接管道，分子泵,機(jī)械泵構(gòu)成，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)配件連接,全部采用不銹鋼材料，電拋光處理。系統(tǒng)設(shè)計(jì)有預(yù)抽功能。
技術(shù)指標(biāo)：
環(huán)境溫度5~32℃，
空氣相對(duì)濕度≤85%，
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
系統(tǒng)整體極限真空度：4.3X10Pa
外形尺寸：850 X600 X 650mm
技術(shù)參數(shù)：
| 序號(hào) | 主要配置 | NBD-103(A)系統(tǒng) | NBD-103(B)系統(tǒng) |
| 1 | 機(jī)械泵 | 抽氣速率：4L/S 電機(jī)功率：400W 極限壓強(qiáng)6X10-2Pa | 抽氣速率：6L/S 電機(jī)功率：500W 極限壓強(qiáng)6X10-2Pa |
| 2 | 分子泵參數(shù)
| 抽氣速率：100L/S 極限壓強(qiáng)：6X10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：43000轉(zhuǎn)/分 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷 | 抽氣速率：600L/S 極限壓強(qiáng)：6X10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：27000轉(zhuǎn)/分 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷 |
| 3 | 分子泵控制電源 | 電壓：200~240V 輸出功率：250W 加速時(shí)間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% | 電壓：380~410V 輸出功率：400W 加速時(shí)間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
| 4 | 復(fù)合真空計(jì) | 工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規(guī)阻值：約85 歐 自動(dòng)保護(hù)（電離）>10Pa 電離規(guī)管測(cè)量范圍：100~1010-5Pa 電阻規(guī)管測(cè)量范圍：105 ～10-1 pa | 工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規(guī)阻值：約85 歐 自動(dòng)保護(hù)（電離）>10Pa 電離規(guī)管測(cè)量范圍：100~1010-5Pa 電阻規(guī)管測(cè)量范圍： 105 ～10-1 pa |
| 5 | 高真空手動(dòng)隔斷閥 | 采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s | 采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口 漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s |
| 6 | 連接管路 | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s |
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