產品簡介
HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動探針臺,適用于 4 K 環境中的 150 毫米和 200 毫米晶圓。為了加速商用量子和超導計算機的實現,我們為芯片開發人員提供了智能迭代設計所需的工具。 4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜,以及可用于測試配置的靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環境條件,以確保為最敏感的超導設備提供質量的數據。全自動晶圓裝載和復雜的Velox軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作,以快速獲取數據。 FormFactor 的長期探測專業知識和數十年的精密低溫經驗在該系統中相結合,將超導設備測試和測量從實驗室帶入晶圓廠。
產品特性
晶圓溫度驗證 <4.5 K(44 個射頻探頭接觸)
磁場抑制<200 nT
高度均勻的晶圓溫度
精確的熱穩定性和控制
堅固的花崗巖底座結構可實現精確的運動和振動控制
輕松更換可定制的探針卡
全自動或手動晶圓裝載選項
用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件
產品應用
量子計算
超導芯片開發
量子信息科學
規格參數
晶圓尺寸 | 150毫米和200毫米 |
行程 | +/- 112 mm XY, 0 - 13 mm Z, +/- 10°Theta |
運動分辨率 | <1 μm XYZ,<0.0001°Theta |
XY速度 | 25mm /s |
顯微鏡 | 50 mm XYZ,分辨率<3 μm |
溫度 | 晶片溫度<4.5 K,有44個射頻探頭接觸 |
測量通道 | 56 RF連接(18ghz)和520DC |
晶片容量 | 25片,晶片之間的交換時間小于15分鐘 |
靜止磁場 | <200 nT |