- 產(chǎn)品說明
- 超高純凈膜片式瓶閥是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)共同研究開發(fā)的新產(chǎn)品。捷銳從英國(guó)引進(jìn)該項(xiàng)技術(shù)，為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)提供了一項(xiàng)全新的產(chǎn)品，目前市場(chǎng)的空白。
- 有手動(dòng)和氣動(dòng)兩種閥，二者基于同一母體設(shè)計(jì)。
- 適用于大多數(shù)特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如氯氣和等。
- 在符合超高純標(biāo)準(zhǔn)的潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)制造，最終的裝配和測(cè)試是在10級(jí)無塵室中進(jìn)行。
- 針對(duì)有低泄漏率要求的高純氣體用戶設(shè)計(jì)。
- 每個(gè)閥門都采用氦氣質(zhì)譜儀檢測(cè)泄漏率。
- 膜片直接作用于閥座關(guān)閉閥門，光滑過渡的膜片設(shè)計(jì)可以將氣體流道死角減至最小。
- 閥座的特殊支撐和緊固設(shè)計(jì)，可以將高壓負(fù)載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至最小。
- 膜片為一體式無焊接結(jié)構(gòu)，有效隔離了氣體和機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，提高了使用壽命。
- 為防止脫落的顆粒物污染，在氣體流道中不存在任何滑動(dòng)，旋轉(zhuǎn)或摩擦部件。
- 進(jìn)氣口呈喇叭型，增強(qiáng)氣體流通，便于清潔和吹掃凈化。
- 進(jìn)出口端形式適合所有已知的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；閥門也同樣適用于市場(chǎng)上各種流體。
- 手輪可用金屬絲鎖定。
- 執(zhí)行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置，以防止運(yùn)輸過程中的震動(dòng)，導(dǎo)致泄漏。
- 手動(dòng)和氣動(dòng)兩種形式均適合用標(biāo)準(zhǔn)閥門保護(hù)管帽。
- 出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護(hù)。
- 閥門裝置包含提高安全性能的二次密封。
- 母體帶有“π”標(biāo)記表示通過歐盟的TPED認(rèn)證
- 工作壓力：230bar (3300psi)
- 適用氣體：工業(yè)和特種氣體（包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣）
- 孔徑：4mm
- CV值：0.3
- 工作溫度：-20至65°C
- 閥體泄漏率：1x10-9 mbar l/s (200bar He)
- 閥座泄漏率：小于1x10-8 mbar l/s (200bar He)
- 母體：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
- 閥座：PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
- 膜片：Elgiloy
閥門氣體流道內(nèi)無任何潤(rùn)滑。閥座選用氣體相容性最小的材料。有關(guān)材料選擇方面的問題請(qǐng)聯(lián)系我們。 - 常閉設(shè)計(jì)的氣動(dòng)執(zhí)行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅(qū)動(dòng)氣源供氣時(shí)閥門打開，在彈簧的作用下閥門關(guān)閉。旋轉(zhuǎn)閥套可以將閥門鎖定在關(guān)閉位置。
- 驅(qū)動(dòng)壓力：5 to 8bar (70 to 120psi)
- 驅(qū)動(dòng)介質(zhì)：空氣或氮?dú)?/li>
- 進(jìn)氣接口：1/8” NPT
- 結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽極化鋁合金
特性
