產(chǎn)品簡介：

KJ-T1200-S5010LK1-L系列立式管式氣氛爐的設計能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫，四面加熱，溫場更均勻，立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢，爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性，可以預抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，特別適合薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要！

適用范圍：

 立式管式氣氛爐主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，應用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

技術(shù)參數(shù)：

標準配件：

 1．實現(xiàn)電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
 2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內(nèi)，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
 3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
 4．現(xiàn)場操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調(diào)用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發(fā)生。
 5．具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
 6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。

 1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
 3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。 。

 該耐高溫真空泵采用內(nèi)置風扇和大面積散熱的風冷設計，大幅度降低泵的表面溫升；采用耐高溫密封圈和進口耐高溫泵油，更加適合真空管式爐的高溫使用環(huán)境。采用進口原裝油封，確保整機長期運行時的可靠密封。泵體采用一體化設計，零部件少，重復性好，外形緊湊，便于保養(yǎng)和維修。此外還內(nèi)置有齒輪泵和恒壓供油機構(gòu)強制供油，即便在高吸氣壓強下也能穩(wěn)定可靠地運行。自動防返油閥設計，有效的保護了你的真空系統(tǒng)在停機后免受泵油的污染；該產(chǎn)品還設計有兩檔氣鎮(zhèn)，可滿足不同工藝對蒸汽排出量的需求。